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压电纳米精密定位台

Nanopositioning Piezo stage

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一轴压电纳米定位台

型号 最大负载(kg)行程(µm)噪声(nm)共振频率(Hz)线性度(%)集成传感器材质
nPX10011000.310000.01电容SS
nPX300130014400.01电容SS
nPX600160023100.01电容SS
nPXSG1000.810034500.02应变片ss&al
nPXSG2500.825053000.02应变片ss&al
nPXSG4000.840072300.02应变片ss&al
nPFocus1000.81000.3/34500.01/0.02电容/应变片ss&al
nPFocus2500.82500.7/53000.02/0.02电容/应变片ss&al
nPFocus4000.84001.5/72300.01/0.02电容/应变片ss&al
NPX25-1051250.140000.01电容Al
NPX60-2231600.212000.01电容Al
NPZ25-2061250.140000.01电容Super Invar
NPZ70-2071700.520000.01电容Super Invar
nPFocus100HD11000.511500.05电容ss&al
nPFocus100SL 0.310032400.02应变片ss&al
nPFocus1000 0.8100051350.02电容ss&al
NPZ100-209 0.310034000.05应变片Al
NPZ300-222 130031600.5应变片Al

二轴压电纳米定位台

型号 最大负载(kg)行程(µm)噪声(nm)共振频率(Hz)线性度(%)集成传感器材质
NPXY10-2630.510|100.2|0.21200|12000.01|0.01电容Invar
NPXY50-286150|500.2|0.21400|14000.01|0.01电容SS
NPXY60-448160|600.2|0.21400|14000.02|0.02电容Al
NPXY80-2530.580|800.3|0.3550|5500.01|0.01电容SS
NPXY100-1001100|1000.3|0.3700|7000.01|0.01电容Al
NPXY100-1265100|1000.3|0.3850|8500.01|0.01电容Al
NPXY200-4015200|2000.7|0.7700|7000.01|0.01电容Al
NPXY200-1011200|2000.5|0.5400|4000.01|0.01电容Al
NPXY250-4051250|2504|4300|2300.0005应变片Al/SS
NPXY300-2915300|3001|1240|2400.01|0.01电容Al
NPXY60-258160|600.4|0.4750|7500.03|0.03Al

三轴压电纳米定位台

型号 最大负载(kg)行程(µm)噪声(nm)共振频率(Hz)线性度(%)集成传感器材质
nPCube1.5100|100|1003|3|3280|430|2800.05|0.05|0.05应变片Al/SS
NPXY10Z5-1870.510|10|50.2|0.2|0.11200|1200|20000.03|0.03|0.5电容Invar
NPXY80Z5-2720.580|80|50.3|0.3|0.07400|450|20000.01|0.01|0.5电容SS
NPXY60Z20-257
160|60|200.4|0.4|0.2750|750|20000.03|0.03|0.05Al
NPXY100Z15-1631100|100|150.3|0.3|0.1500|500|30000.01|0.01|0.1电容Al
NPXY100Z25-1021100|100|250.3|0.3|0.1500|500|16000.01|0.01|0.04电容Al
NPXY200Z15-2681200|200|150.7|0.7|0.1350|350|50000.01|0.01|0.02电容Al
NPXY200Z25-1031200|200|250.5|0.5|0.1350|350|16000.01|0.01|0.04电容Al
NPXY100Z10-1285100|100|100.3|0.3|0.1600|600|9000.01|0.01|0.02电容Al
NPXY100Z50-2445100|100|500.3|0.3|0.3500|500|5500.01|0.01|0.02电容Al
NPXY100Z100-1355100|100|1000.3|0.3|0.3500|500|5000.01|0.01|0.02电容Al
NPXY200Z10-2695200|200|100.7|0.7|0.1400|450|9000.01|0.01|0.02电容Al
NPXY200Z25-2605200|200|250.7|0.7|0.2450|450|7500.01|0.01|0.02电容Al
NPXY200Z100-2715200|200|1000.7|0.7|0.3450|450|5000.01|0.01|0.02电容Al
NPXY200Z50-2705200|200|500.7|0.7|0.3450|450|5500.01|0.01|0.02电容Al
nPBio2005200|200|2001|1|1250|250|2500.02|0.02|0.02电容Al/SS
nPBio3005300|300|3002|2|2200|200|2000.02|0.02|0.02电容Al/SS
NPXY100Z25-2641100|100|250.3|0.3|0.2600|600|7500.02|0.02|0.02Al

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