压电纳米精密定位台
Nanopositioning Pizeo stage
一轴压电纳米定位台
| 型号 | 最大负载（kg） | 行程（µm） | 噪声（nm） | 共振频率(Hz) | 线性度(%) | 集成传感器 | 材质 |
| nPX100 | 1 | 100 | 0.3 | 1000 | 0.01 | 电容 | SS |
| nPX300 | 1 | 300 | 1 | 440 | 0.01 | 电容 | SS |
| nPX600 | 1 | 600 | 2 | 310 | 0.01 | 电容 | SS |
| nPXSG100 | 0.8 | 100 | 3 | 450 | 0.02 | 应变片 | ss&al |
| nPXSG250 | 0.8 | 250 | 5 | 300 | 0.02 | 应变片 | ss&al |
| nPXSG400 | 0.8 | 400 | 7 | 230 | 0.02 | 应变片 | ss&al |
| nPFocus100 | 0.8 | 100 | 0.3/3 | 450 | 0.01/0.02 | 电容/应变片 | ss&al |
| nPFocus250 | 0.8 | 250 | 0.7/5 | 300 | 0.02/0.02 | 电容/应变片 | ss&al |
| nPFocus400 | 0.8 | 400 | 1.5/7 | 230 | 0.01/0.02 | 电容/应变片 | ss&al |
| NPX25-105 | 1 | 25 | 0.1 | 4000 | 0.01 | 电容 | Al |
| NPX60-223 | 1 | 60 | 0.2 | 1200 | 0.01 | 电容 | Al |
| NPZ25-206 | 1 | 25 | 0.1 | 4000 | 0.01 | 电容 | Super Invar |
| NPZ70-207 | 1 | 70 | 0.5 | 2000 | 0.01 | 电容 | Super Invar |
| nPFocus100HD | 1 | 100 | 0.5 | 1150 | 0.05 | 电容 | ss&al |
| nPFocus100SL | 0.3 | 100 | 3 | 240 | 0.02 | 应变片 | ss&al |
| nPFocus1000 | 0.8 | 1000 | 5 | 135 | 0.02 | 电容 | ss&al |
| NPZ100-209 | 0.3 | 100 | 3 | 400 | 0.05 | 应变片 | Al |
| NPZ300-222 | 1 | 300 | 3 | 160 | 0.5 | 应变片 | Al |
二轴压电纳米定位台
| 型号 | 最大负载（kg） | 行程（µm） | 噪声（nm） | 共振频率(Hz) | 线性度(%) | 集成传感器 | 材质 |
| NPXY10-263 | 0.5 | 10|10 | 0.2|0.2 | 1200|1200 | 0.01|0.01 | 电容 | Invar |
| NPXY50-286 | 1 | 50|50 | 0.2|0.2 | 1400|1400 | 0.01|0.01 | 电容 | SS |
| NPXY60-448 | 1 | 60|60 | 0.2|0.2 | 1400|1400 | 0.02|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY80-253 | 0.5 | 80|80 | 0.3|0.3 | 550|550 | 0.01|0.01 | 电容 | SS |
| NPXY100-100 | 1 | 100|100 | 0.3|0.3 | 700|700 | 0.01|0.01 | 电容 | Al |
| NPXY100-126 | 5 | 100|100 | 0.3|0.3 | 850|850 | 0.01|0.01 | 电容 | Al |
| NPXY200-401 | 5 | 200|200 | 0.7|0.7 | 700|700 | 0.01|0.01 | 电容 | Al |
| NPXY200-101 | 1 | 200|200 | 0.5|0.5 | 400|400 | 0.01|0.01 | 电容 | Al |
| NPXY250-405 | 1 | 250|250 | 4|4 | 300|230 | 0.0005 | 应变片 | Al/SS |
| NPXY300-291 | 5 | 300|300 | 1|1 | 240|240 | 0.01|0.01 | 电容 | Al |
| NPXY60-258 | 1 | 60|60 | 0.4|0.4 | 750|750 | 0.03|0.03 | Al |
三轴压电纳米定位台
| 型号 | 最大负载（kg） | 行程（µm） | 噪声（nm） | 共振频率(Hz) | 线性度(%) | 集成传感器 | 材质 |
| nPCube | 1.5 | 100|100|100 | 3|3|3 | 280|430|280 | 0.05|0.05|0.05 | 应变片 | Al/SS |
| NPXY10Z5-187 | 0.5 | 10|10|5 | 0.2|0.2|0.1 | 1200|1200|2000 | 0.03|0.03|0.5 | 电容 | Invar |
| NPXY80Z5-272 | 0.5 | 80|80|5 | 0.3|0.3|0.07 | 400|450|2000 | 0.01|0.01|0.5 | 电容 | SS |
| NPXY60Z20-257 | 1 | 60|60|20 | 0.4|0.4|0.2 | 750|750|2000 | 0.03|0.03|0.05 | Al | |
| NPXY100Z15-163 | 1 | 100|100|15 | 0.3|0.3|0.1 | 500|500|3000 | 0.01|0.01|0.1 | 电容 | Al |
| NPXY100Z25-102 | 1 | 100|100|25 | 0.3|0.3|0.1 | 500|500|1600 | 0.01|0.01|0.04 | 电容 | Al |
| NPXY200Z15-268 | 1 | 200|200|15 | 0.7|0.7|0.1 | 350|350|5000 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY200Z25-103 | 1 | 200|200|25 | 0.5|0.5|0.1 | 350|350|1600 | 0.01|0.01|0.04 | 电容 | Al |
| NPXY100Z10-128 | 5 | 100|100|10 | 0.3|0.3|0.1 | 600|600|900 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY100Z50-244 | 5 | 100|100|50 | 0.3|0.3|0.3 | 500|500|550 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY100Z100-135 | 5 | 100|100|100 | 0.3|0.3|0.3 | 500|500|500 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY200Z10-269 | 5 | 200|200|10 | 0.7|0.7|0.1 | 400|450|900 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY200Z25-260 | 5 | 200|200|25 | 0.7|0.7|0.2 | 450|450|750 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY200Z100-271 | 5 | 200|200|100 | 0.7|0.7|0.3 | 450|450|500 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| NPXY200Z50-270 | 5 | 200|200|50 | 0.7|0.7|0.3 | 450|450|550 | 0.01|0.01|0.02 | 电容 | Al |
| nPBio200 | 5 | 200|200|200 | 1|1|1 | 250|250|250 | 0.02|0.02|0.02 | 电容 | Al/SS |
| nPBio300 | 5 | 300|300|300 | 2|2|2 | 200|200|200 | 0.02|0.02|0.02 | 电容 | Al/SS |
| NPXY100Z25-264 | 1 | 100|100|25 | 0.3|0.3|0.2 | 600|600|750 | 0.02|0.02|0.02 | Al |