音圈快反镜
非接触轴角测量/音圈摆镜


音圈快反镜FSM-55
非接触轴角测量
- 温漂较小(≤3μrad/℃);
- 静态功耗极低(4.9W)
- 分辨率及重复精度较优;分辨率≤1μrad,重复精度≤2μrad
- 响应时间短,带宽可达(550Hz)
- 采用音圈电机作为驱动源,反射角较大,并且兼容各种极端环境
主要参数
| FSM-55 | |||||
| 运动轴 | 𝜃x/𝜃y | ||||
| 镜片直径 | 53mm | ||||
| 最小上升时间 | ≤1.2ms | ||||
| 行程 | ±1.5° | ||||
| 分辨率 | ≤1μrad | ||||
| 重复精度 | ≤2μrad | ||||
| 温度漂移 | ≤3μrad/℃ | ||||
| 线性度 | ≥99.80% | ||||
| 闭环带宽( -3db@1mrad )与负载镜片重量相关 | 500Hz | ||||
| 工作温度 | -55℃~+75℃ | ||||
| 反射镜面形 | ≤λ/50 (RMS) | ||||
| 重量 | 470g | ||||
| 静态功耗 | 4.9W | ||||
| 信号输入 | 模拟: ±10V | ||||
| 输入功率 | ±15VDC @ 3A RMS (MAX) |
安装尺寸图




