SOLANO超小型六轴并联定位台
超小直径高精度设计
主要参数
| SOLANO | |
|---|---|
| 运动及定位 | |
| 行程Tx,Ty(mm) | ±18 |
| 行程Tz(mm) | ±6.5 |
| 行程Rx,Ry(deg) | ±10 |
| 行程Rz(deg) | ±21 |
| 分辨率Tx,Ty(μm) | 0.1 |
| 分辨率Tz(μm) | 0.08 |
| 分辨率Rx,Ry(μrad) | 2.5 |
| 分辨率Rz(μrad) | 3.5 |
| 重复精度Tx,Ty,Tz(μm) | ±0.25 |
| 重复精度Rx,Ry,Rz(μrad) | ±4 |
| 速度Tx,Ty(mm/s) | 30 |
| 速度Tz(mm/s) | 20 |
| 速度Rx,Ry(deg/s) | 15 |
| 速度Rz(deg/s) | 20 |
| 机械特性 | |
| 刚度X,Y（N/μm) | 0.3 |
| 刚度Z（N/μm) | 5 |
| 负载(kg)(垂直方向/水平方向) | 5/2.5 |
| 电机类型 | 直驱无刷直流电机 |
| 传感器类型 | 绝对光栅尺（无电池/装置） |
| SOLANO | |
|---|---|
| 其它特性 | |
| 工作温度(℃) | 0~+50 |
| 材料 | 铝，铁，不锈钢 |
| 运动台面（mm） | Φ100 |
| 移动平台中心孔径 (mm) | Φ50 |
| 固定平台中心孔径 (mm) | Φ32 |
| 中间位置高度 (mm) | 104 |
| 质量（ kg ） | 1 |
| 电缆长度（ m ） | 2.5 |
| 可选项 | 洁净间兼容； 手持控制组件； 用户可以定制平台面； |
| 控制器 | |
| 控制类型 | ALPHA+ |
| 接口 | Ethernet |
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz |
尺寸图
