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NPXY300-291

NPXY300-291 Nanopositioning Piezo Stage

NPXY300-291是一款重载大行程XY扫描台,最大承载5kg,行程300μm×300μm,通孔尺寸95mm×85mm,而厚度仅为23mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。

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应用

  • 纳米加工
  • 纳米计量
  • 纳米压印
  • 光存储/磁存储
  • 材料科学

主要参数

型号3715291
尺寸(mm)179 X 179 X 23
最大负载(kg)5
最大推力(N)100 / 20
自重(g)1560
运动轴X|Y
闭环行程(µm)300|300
开环行程(µm)360|360
噪声值(nm)1|1
通孔(mm)85 X 95
3715291
刚度(N/µ)0.7|0.7
共振频率(Hz)240|240
稳态时间(ms)20|20
线性度(%)0.01|0.01
电容量(µF)8.2|8.2
集成传感器纳米精度电容位移传感器
电缆长度(m)2
控制器LC.402
材质铝合金

尺寸图

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