NPXY300-291
NPXY300-291 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY300-291是一款重载大行程XY扫描台，最大承载5kg，行程300μm×300μm，通孔尺寸95mm×85mm，而厚度仅为23mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。
应用
- 纳米加工
- 纳米计量
- 纳米压印
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
| 型号 | 3715291 |
| 尺寸(mm) | 179 X 179 X 23 |
| 最大负载(kg) | 5 |
| 最大推力(N) | 100 / 20 |
| 自重(g) | 1560 |
| 运动轴 | X|Y |
| 闭环行程(µm) | 300|300 |
| 开环行程(µm) | 360|360 |
| 噪声值(nm) | 1|1 |
| 通孔(mm) | 85 X 95 |
| 3715291 | |
| 刚度(N/µ) | 0.7|0.7 |
| 共振频率(Hz) | 240|240 |
| 稳态时间(ms) | 20|20 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01 |
| 电容量(µF) | 8.2|8.2 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.402 |
| 材质 | 铝合金 |
尺寸图
