NPZ25-206
NPZ25-206 Nanopositioning Piezo Stage
NPZ25-206是一款闭环单轴纳米Z向定位台，25μm行程。响应速度极快，自振频率达3kHz。完全满足大部分SPM的应用。采用铟钢材料制作，热稳定性极高。
应用
- 光纤对准
- 磁头和磁盘驱动器测试
- 纳米微操
- 精密测量
- 干涉测量
主要参数
| 型号 | 3715206 |
| 尺寸(mm) | 44 x Φ20 |
| 最大负载(kg) | 1 |
| 最大推力(N) | 100 / 20 |
| 自重(g) | 90 |
| 运动轴 | Z |
| 闭环行程(µm) | 25 |
| 开环行程(µm) | 40 |
| 噪声值(nm) | 0.1 |
| 3715206 | |
| 刚度(N/µm) | 20 |
| 共振频率(Hz) | 4000 |
| 稳态时间(ms) | 2 |
| 线性度(%) | 0.01 |
| 电容量(µF) | 1.6 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.400 |
| 材质 | Super Invar |
尺寸图
