音圈快反镜
音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整，以补偿振动对光路的影响，或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜MY603/MY903采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动，输出力大、响应快、控制精度高；采用反射镜及支撑结构一体化设计技术，降低了质量/惯量、减小了体积，具有优异的动态特性；采用了转轴构型优化技术，使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。
MY903 大行程音圈快摆镜
行程达±1.5度，支持90mm口径镜片，带宽高达200Hz。
近年来光学角度控制技术正在快速向大口径，高动态方向发展。传统的解决方案很难在提供大角度运动的同时保证高动态和快速响应。MY603/MY903音圈快反镜在带动60/90mm口径镜片实现±3°光学角摆动的同时，可以提供百赫兹级别的带载工作带宽和2000弧度/平方秒的高加速度，这一指标远远高出压电类的解决方案。同时，系统的分辨率、稳定性和噪音水平都保持在1角秒以下。
| MY903 | |
| 镜面尺寸 | 直径90 圆镜 |
| 转轴数 | 2轴 |
| 转角范围* | ＞ ±1.5° 机械角 |
| 内置传感器 | 非接触轴角测量 |
| 非线性 | ≤ 0.2% |
| 角分辨率* | ≤ ±2μrad |
| 重复精度* | ≤ ±2μrad |
| 角加速度 | ≥ 2000rad/s^2 |
| 带宽（大角度）* | 50Hz@±1° |
| 带宽（小角度）* | 200Hz@±0.1° |
| 工作温度 | -20~+60°C |
| 存储温度 | -20~+80°C |
| 质量 | 1100g |
| 尺寸** | 120×120 ×45mm |
| 控制器 | |
| 常值功耗 | 15 W |
| 工作电压 | +28V |
| 质量 | 1600g |
| 尺寸** | 152 ×152×72mm |
MY603 大行程音圈快摆镜
行程达±1.5度，支持60mm口径镜片，带宽高达200Hz。
采用磁浮驱动技术，音圈快反镜具有独一无二的隔振能力，环境振动向负载镜片的传递将被大幅衰减，这使得音圈快反镜在高冲击环境应用中具有其他技术难以取代的优点。而在系统的工作频段，目标信号的快速运动可以被完美地复现（扫描类应用）、跟随（跟踪类应用）或者抵消（稳像和减振类应用）。MY603/MY903音圈快反镜采用低发热驱动技术，大大降低了音圈电机线圈发热的影响；并且，我们可以根据用户的应用提供热管理解决建议，以及热沉散热等技术方案。
| MY603 | |
| 镜面尺寸 | 直径60 圆镜 |
| 转轴数 | 2轴 |
| 转角范围* | ＞ ±1.5° 机械角 |
| 内置传感器 | 非接触轴角测量 |
| 非线性 | ≤ 0.3% |
| 角分辨率* | ≤ ±2μrad |
| 重复精度* | ≤ ±2μrad |
| 最大角加速度 | ≥ 2000rad/s^2 |
| 带宽（大角度）* | 80Hz@±1° |
| 带宽（小角度）* | 200Hz@±0.15° |
| 工作温度 | -20~+60°C |
| 存储温度 | 0~+80°C |
| 质量 | 500g |
| 尺寸** | 70×70 ×45mm |
| 控制器 | |
| 常值功耗 | 15 W |
| 工作电压 | +28V |
| 质量 | 1600g |
| 尺寸** | 152×152×72mm |
RXY6-212超高速偏摆台
RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台，摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
RXY3-410超高速偏摆台
RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面，摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
RXY3-276超高速偏摆台
RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度，使得镜片的偏转角度变化，实现光束调节。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
