跳转至内容
info@motionsmart.cn021-68370027; 18701819427

EN

中文

Search
动智精密
超精密定位与测量解决方案
动智精密动智精密
  • 六轴系统
    • 高精度六轴并联定位系统
    • 高速六自由度运动模拟器
  • 平移台
    • 超低温纳米定位台
  • 纳米定位台
  • 快反镜
    • FSM-20S激光通信航空航天专用快反镜
    • FSM-20超高带宽小体积音圈快反镜
    • FSM-25超高带宽小体积音圈快反镜
    • FSM-40中型口径音圈快反镜
    • FSM-50标准版本音圈快反镜
    • FSM-55大口径音圈快反镜
    • FSM-60大口径音圈快反镜
    • FSM-85超大口径音圈快反镜
    • MR-E-2 25°超大角度音圈快反镜
    • PSH
  • 激光干涉仪
    • 半导体应用semiconductor-激光干涉仪
    • IDS3010激光干涉位移传感系统
    • IDS3010传感探头选型
  • 联系我们
  • About us
  • 六轴系统
    • 高精度六轴并联定位系统
    • 高速六自由度运动模拟器
  • 平移台
    • 超低温纳米定位台
  • 纳米定位台
  • 快反镜
    • FSM-20S激光通信航空航天专用快反镜
    • FSM-20超高带宽小体积音圈快反镜
    • FSM-25超高带宽小体积音圈快反镜
    • FSM-40中型口径音圈快反镜
    • FSM-50标准版本音圈快反镜
    • FSM-55大口径音圈快反镜
    • FSM-60大口径音圈快反镜
    • FSM-85超大口径音圈快反镜
    • MR-E-2 25°超大角度音圈快反镜
    • PSH
  • 激光干涉仪
    • 半导体应用semiconductor-激光干涉仪
    • IDS3010激光干涉位移传感系统
    • IDS3010传感探头选型
  • 联系我们
  • About us

音圈快反镜

音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整,以补偿振动对光路的影响,或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动,输出力大、响应快、控制精度高;采用反射镜及支撑结构一体化设计技术,降低了质量/惯量、减小了体积,具有优异的动态特性;采用了转轴构型优化技术,使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。

  • 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页

超高速音圈,采用磁浮驱动技术,音圈快反镜具有独一无二的隔振能力,环境振动向负载镜片的传递将被大幅衰减,这
使得音圈快反镜在高冲击环境应用中具有其他技术难以取代的优点。而在系统的工作频段,目标信号的快速运
动可以被完美地复现(扫描类应用)、跟随(跟踪类应用)或者抵消(稳像和减振类应用)。

音圈快反镜

主要特征:

  • 温漂较小(≤2μrad/℃);
  • 8小时温度漂移≤20μrad
  • 分辨率及重复精度较优;分辨率≤1μrad,重复精度≤2μrad
  • 响应时间短,带宽可达(850Hz)
  • 采用音圈电机作为驱动源,反射角较大,并且兼容各种极端环境
型号
特点
角度
口径
带宽
FSM-20S 音圈摆镜/音圈快反镜激光通信航空航天专用 ±1.5° 18mm 1kHz
FSM-20 音圈摆镜/音圈快反镜超高带宽 小体积 ±1.5° 18mm 1kHz
FSM-25 音圈摆镜/音圈快反镜超高带宽 小体积 ±1.5° 23mm 850Hz
FSM-40 音圈摆镜/音圈快反镜中型口径 ±1.5° 38mm 750Hz
FSM-50 音圈摆镜/音圈快反镜标准版 ±1.5° 48mm 600Hz
FSM-55 音圈摆镜/音圈快反镜大口径 ±1.5° 53mm 550Hz
FSM-60 音圈摆镜/音圈快反镜大口径 ±1.5° 58mm 450Hz
FSM-85 音圈摆镜/音圈快反镜超大口径 ±1.5° 83mm 300Hz
MR-E-2 音圈摆镜/音圈快反镜25°超大角度 25° 15mm 350Hz

RXY6-212超高速偏摆台

RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台,摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

RXY3-410超高速偏摆台

RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面,摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

RXY3-276超高速偏摆台

RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度,使得镜片的偏转角度变化,实现光束调节。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

应用场景

  • 1.微孔及微槽加工

  • 2.飞行器吊舱

  • 3.卫星激光通信

  • 4.周视红外成像

  • 5.超分辨成像

  • 6.准分子眼科手术

Related Posts

HEGOA Hexapod
2022年12月27日
FSM-20S
2022年5月29日
FSM-85
2022年5月29日
FSM-20
2022年5月29日
FSM-20S
2022年5月29日
半导体应用semiconductor-激光干涉仪
2022年2月10日
动智精密

沪公网安备 31011502008739号;


沪ICP备16016512号

Go to Top
产品中心 联系我们
激光位移传感器 动智精密上海总部
六轴精密定位台 动智精密北京办事处
大型龙门运动系列
动智精密成都办事处
快反镜&压电纳米定位台
高精度平移台
招贤纳士