音圈快反镜
音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整，以补偿振动对光路的影响，或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动，输出力大、响应快、控制精度高；采用反射镜及支撑结构一体化设计技术，降低了质量/惯量、减小了体积，具有优异的动态特性；采用了转轴构型优化技术，使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。
FSM-453音圈快反镜
超高速音圈，主要用于高速角度调整中，支持50mm口径镜片。
主要特征：
- 温漂较小（≤2μrad/℃）；
- 8小时温度漂移≤20μrad
- 分辨率及重复精度较优；分辨率≤1μrad，重复精度≤2μrad
- 响应时间短，带宽可达（850Hz)
- 采用音圈电机作为驱动源，反射角较大，并且兼容各种极端环境
| FSM-453 | |
| 轴数 | 2 |
| 孔径 | ≤50mm |
| 最小上升时间 | ≤1ms |
| 行程 | ±1.5° |
| 分辨率 | ≤1μrad |
| 重复精度 | ≤2μrad |
| 线性度 | 0.2% |
| 闭环带宽（-3db@1mrad） | 400-850Hz（直径50mm不同厚度反射镜） |
| 工作温度 | -20℃~50℃ |
| 信号输入 | 模拟：±10V；数字信号 |
| 峰值功率 | 30W |
| 输入功率 | ±15VDC @ 3A RMS (MAX) |
RXY6-212超高速偏摆台
RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台，摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
RXY3-410超高速偏摆台
RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面，摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料，更高稳定性。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
RXY3-276超高速偏摆台
RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度，使得镜片的偏转角度变化，实现光束调节。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
