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音圈快反镜

音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整,以补偿振动对光路的影响,或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动,输出力大、响应快、控制精度高;采用反射镜及支撑结构一体化设计技术,降低了质量/惯量、减小了体积,具有优异的动态特性;采用了转轴构型优化技术,使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。

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FSM-453音圈快反镜

超高速音圈,主要用于高速角度调整中,支持50mm口径镜片。

主要特征:

  • 温漂较小(≤2μrad/℃);
  • 8小时温度漂移≤20μrad
  • 分辨率及重复精度较优;分辨率≤1μrad,重复精度≤2μrad
  • 响应时间短,带宽可达(850Hz)
  • 采用音圈电机作为驱动源,反射角较大,并且兼容各种极端环境
尺寸图
FSM-453
轴数2
孔径≤50mm
最小上升时间≤1ms
行程±1.5°
分辨率≤1μrad
重复精度≤2μrad
线性度0.2%
闭环带宽(-3db@1mrad)400-850Hz(直径50mm不同厚度反射镜)
工作温度 -20℃~50℃
信号输入模拟:±10V;数字信号
峰值功率30W
输入功率±15VDC @ 3A RMS (MAX)

RXY6-212超高速偏摆台

RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台,摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

RXY3-410超高速偏摆台

RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面,摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

RXY3-276超高速偏摆台

RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度,使得镜片的偏转角度变化,实现光束调节。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。

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