音圈快反镜
音圈快反镜通过反射镜的两轴快速摆振实现光路调整,以补偿振动对光路的影响,或者控制光路产生期望的指向。音圈快反镜采用经过特殊设计的精密音圈电机作为驱动,输出力大、响应快、控制精度高;采用反射镜及支撑结构一体化设计技术,降低了质量/惯量、减小了体积,具有优异的动态特性;采用了转轴构型优化技术,使快反镜具有良好的控制精度和闭环带宽。
音圈快反镜
主要特征:
- 温漂较小(≤2μrad/℃);
- 8小时温度漂移≤20μrad
- 分辨率及重复精度较优;分辨率≤1μrad,重复精度≤2μrad
- 响应时间短,带宽可达(850Hz)
- 采用音圈电机作为驱动源,反射角较大,并且兼容各种极端环境
RXY6-212超高速偏摆台
RXY6-212是一款超高速闭环偏摆台,摆角为6mradx6mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。
RXY3-410超高速偏摆台
RXY3-410是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。50mm超大台面,摆台上方可安装更大尺寸反射镜片。提供全invar或者不锈钢材料,更高稳定性。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。
RXY3-276超高速偏摆台
RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度,使得镜片的偏转角度变化,实现光束调节。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。