nPCube
nPCube Nanopositioning Piezo Stage
nPCube是一款超小尺寸三维纳米定位台,行程100μm×100μm×100μm,而尺寸仅为40mmx40mmx47mm。适用于光电对准、光电封装、纳米加工、光学测量、纳米自动化等应用。
应用
- 光电对准
- 光电封装
- 纳米加工
- 光学测量
- 纳米自动化
主要参数
型号 | 3715464 |
尺寸(mm) | 40 x 40 x 47 |
最大负载(kg) | 1.5 |
最大推力(N) | 15 |
自重(g) | 160 |
运动轴 | X|Y|Z |
闭环行程(µm) | 100|100|100 |
开环行程(µm) | 140|140|140 |
噪声值(nm) | 3|3|3 |
3715464 | |
刚度(N/µm) | 0.6 | 0.6 | 0.6 |
共振频率(Hz) | 280 | 430 | 280 |
稳态时间(ms) | 20 | 20 | 20 |
线性度(%) | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
电容量(µF) | 1.5 | 1.5 | 1.5 |
集成传感器 | 应变式微位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.403 |
材质 | 不锈钢 & 铝合金 |