NPXY80-253
NPXY80-253 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY80-253是一款小尺寸大行程压电扫描台，截面尺寸仅为37mm×37mm，而扫描范围达到了80µm×80µm。适用于扫描显微/原子力显微，以及其他空间受限的二维扫描应用。
应用
- 原子力显微镜
- SNOM
- 其他各种SPM
- 纳米光刻
- 纳米计量
主要参数
| 型号 | 3715253 |
| 尺寸(mm) | 37 x 37 x 31 |
| 最大负载(kg) | 0.5 |
| 最大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 190 |
| 运动轴 | X|Y |
| 闭环行程(µm) | 80|80 |
| 开环行程(µm) | 80|80 |
| 噪声值(nm) | 0.3|0.3 |
| 3715253 | |
| 刚度(N/µ) | 0.6|0.6 |
| 共振频率(Hz) | 550|550 |
| 稳态时间(ms) | 10|10 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01 |
| 电容量(µF) | 1.5|1.5 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.402 |
| 材质 | 不锈钢 |
尺寸图
