NPZ70-207
NPZ70-207 Nanopositioning Piezo Stage
NPZ70-207是一款闭环单轴纳米Z向定位台,70μm行程。响应速度极快,带中孔结构,方便集成至光学显微镜上。
应用
- 近场扫描光学显微镜
- 扫描探针显微镜
- 光学显微镜
- 光刻
- 纳米微操
- 精密测量
主要参数
型号 | 3715207 |
尺寸(mm) | 85 x Φ20 |
最大负载(kg) | 1 |
最大推力(N) | 100 / 20 |
自重(g) | 180 |
运动轴 | Z |
闭环行程(µm) | 70 |
开环行程(µm) | 100 |
噪声值(nm) | 0.5 |
3715207 | |
刚度(N/µm) | 11 |
共振频率(Hz) | 2000 |
稳态时间(ms) | 5 |
线性度(%) | 0.01 |
电容量(µF) | 4.8 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.400 |
材质 | Super Invar |