NPZ70-207
NPZ70-207 Nanopositioning Piezo Stage
NPZ70-207是一款闭环单轴纳米Z向定位台，70μm行程。响应速度极快，带中孔结构，方便集成至光学显微镜上。
应用
- 近场扫描光学显微镜
- 扫描探针显微镜
- 光学显微镜
- 光刻
- 纳米微操
- 精密测量
主要参数
| 型号 | 3715207 |
| 尺寸(mm) | 85 x Φ20 |
| 最大负载(kg) | 1 |
| 最大推力(N) | 100 / 20 |
| 自重(g) | 180 |
| 运动轴 | Z |
| 闭环行程(µm) | 70 |
| 开环行程(µm) | 100 |
| 噪声值(nm) | 0.5 |
| 3715207 | |
| 刚度(N/µm) | 11 |
| 共振频率(Hz) | 2000 |
| 稳态时间(ms) | 5 |
| 线性度(%) | 0.01 |
| 电容量(µF) | 4.8 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.400 |
| 材质 | Super Invar |
尺寸图
