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nPBio200

nPBio200 Nanopositioning Piezo Stage

nPBio200是一款通用重载大行程三维压电纳米定位台,最大承载5kg,行程200μm×200μm×200μm,通孔尺寸85mm×88mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。

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应用

  • 纳米加工
  • 纳米计量
  • 纳米压印
  • 光存储/磁存储
  • 材料科学

主要参数

型号3715245-200
尺寸(mm)179 x 179 x 32
最大负载(kg)5
最大推力(N)100 / 20
自重(g)1590
运动轴X|Y|Z
闭环行程(µm)200|200|200
开环行程(µm)300|300|300
噪声值(nm)1|1|1
通孔(mm)85 x 88
3715245-200
刚度(N/µm)1.4|1.4|1.3
共振频率(Hz)250|250|250
稳态时间(ms)15|15|15
线性度(%)0.02|0.02|0.02
电容量(µF)7.5|7.5|5.0
集成传感器纳米精度电容位移传感器
电缆长度(m)2
控制器LC.403
材质不锈钢 & 铝合金

尺寸图

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