音圈快反镜
非接触轴角测量/音圈摆镜
音圈快反镜FSM-60
非接触轴角测量
- 温漂较小（≤3μrad/℃）；
- 静态功耗极低（5.9W）
- 分辨率及重复精度较优；分辨率≤1μrad，重复精度≤2μrad
- 响应时间短，带宽可达（450Hz)
- 采用音圈电机作为驱动源，反射角较大，并且兼容各种极端环境
主要参数
| FSM-85 | |||||
| 运动轴 | 𝜃x/𝜃y | ||||
| 镜片直径 | 83mm | ||||
| 最小上升时间 | ≤2ms | ||||
| 行程 | ±1.5° | ||||
| 分辨率 | ≤1μrad | ||||
| 重复精度 | ≤2μrad | ||||
| 温度漂移 | ≤3μrad/℃ | ||||
| 线性度 | ≥0.002 | ||||
| 闭环带宽（ -3db@1mrad ）与负载镜片重量相关 | 300Hz | ||||
| 工作温度 | -40℃~60℃ | ||||
| 反射镜面形 | ≤λ/40（RMS） | ||||
| 重量 | 1700g | ||||
| 静态功耗 | 5.9W | ||||
| 信号输入 | 模拟： ±10V 或 ±5V | ||||
| 输入功率 | ±15VDC @ 5A RMS (MAX) |
参考尺寸图FSM-50
