音圈快反镜
非接触轴角测量/音圈摆镜
音圈快反镜FSM-60
非接触轴角测量
- 温漂较小（≤2μrad/℃）；
- 8小时温度漂移≤20μrad
- 分辨率及重复精度较优；分辨率≤1μrad，重复精度≤2μrad
- 响应时间短，带宽可达（850Hz)
- 采用音圈电机作为驱动源，反射角较大，并且兼容各种极端环境
主要参数
| FSM-60 | |||||
| 运动轴 | 𝜃x/𝜃y | ||||
| 镜片直径 | 60mm | ||||
| 最小上升时间 (1mrad) | 1.3ms typ. | ||||
| 行程 | ±1.5° | ||||
| 分辨率 | ≤1μrad | ||||
| 重复精度 | ≤2μrad | ||||
| 线性度 | 0.002 | ||||
| 闭环带宽（ -3db@1mrad ） | 400-850Hz （直径 50mm 不同厚度反射镜） | ||||
| 工作温度 | -20℃~50℃ | ||||
| 信号输入 | 模拟： ±10V ；数字信号 | ||||
| 峰值功率 | 30W | ||||
| 输入功率 | ±15VDC @ 3A RMS (MAX) |
参考尺寸图FSM-50
