长行程纳米定位台
水平平移台行程20~50mm,升降平移台行程5~8mm,二维一体水平台行程25x25mm,偏摆平台行程10度,旋转平台360度无限行程。
超高集成度,适合负载要求不高的应用。
采用粗调加微调结构,分辨率达1nm,重复精度达50nm。
支持epics,C++,Labiew等多种第三方编程方式。
4mk超低温纳米定位台
平移台行程2.5~20mm,微扫描台行程2~125um,偏摆平台行程5.4~7.2度,旋转平台360度无限行程。
超高集成度,尺寸可达15×15×9.2mm,适合负载要求不高的应用。
钛合金材质,支持特殊环境应用,如超高真空,超低温,强磁场等。
超稳桌面型大载大行程二维平移台
水平平移台行程200x200mm,300x300mm,300mm+。
非气浮结构摆角误差20~50urad,可根据用户要求定制负载。
主体采用大理石结构,提供带通孔结构。
控制器支持轨迹生成功能。