水平平移台行程20～50mm，升降平移台行程5～8mm，二维一体水平台行程25x25mm，偏摆平台行程10度，旋转平台360度无限行程。

超高集成度，适合负载要求不高的应用。

采用粗调加微调结构，分辨率达1nm，重复精度达50nm。

支持epics，C++，Labiew等多种第三方编程方式。

平移台行程2.5～20mm，微扫描台行程2～125um，偏摆平台行程5.4～7.2度，旋转平台360度无限行程。

超高集成度，尺寸可达15×15×9.2mm，适合负载要求不高的应用。

钛合金材质，支持特殊环境应用，如超高真空，超低温，强磁场等。

水平平移台行程200x200mm，300x300mm，300mm+。

非气浮结构摆角误差20～50urad，可根据用户要求定制负载。

主体采用大理石结构，提供带通孔结构。

控制器支持轨迹生成功能。