Hexapod六自由度定位台

Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面，同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。 Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用，超大负载应用定制。

（展馆布局图  内部图片）

IDS3010/3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器

皮米精度激光干涉仪，皮米位移测量应用。 支持三轴测量，测距达5m。体积紧凑，易于工业集成。测量精度达±1ppm。 采用法珀干涉原理。 可实现高速测角仪功能。 兼容 10MGy辐射环境。 目标值测量带宽达10MHz。可测位移速度达2m/s。

低温无磁触点开关

可用于超低温，超高真空，强辐射，强磁场下。体积紧凑，稳定性高，兼具高重复精度。主要用于同步辐射，强辐射领域，低温应用领域。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计，显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿，特殊内嵌式培养皿设计。

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下，加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

4mK低温定位台

低温定位台可用于强磁场，4mk超低温，5E-11mbar超高真空等极端环境。低温定位台最小仅15×15×10mm。低温定位台支持多轴宏微高精度定位。

大行程纳米定位台

平移纳米定位，XY二维平移纳米定位台，旋转台，角位台等运动机构，陶瓷电机，行程达50mm，分辨率达1nm。厚度仅20mm，支持多轴串联结构。

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源，实现二维摆动；该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad，工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理，实现大角度摆动范围，二维快反镜角度可达3度，带宽达200Hz。