Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面,同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。
Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用,超大负载应用定制。

采用新式大理石平台结构,热膨胀小,温漂小,抗干扰能力强。
无需添加气浮设计,运动过程中摇摆误差仅20微弧度。
主要用于超精密加工及超精密测量。

支持三轴测量,测距达5m。体积紧凑,易于工业集成。测量精度达±1ppm。
采用法珀干涉原理。
可实现高速测角仪功能。
兼容 10MGy辐射环境。
目标值测量带宽达10MHz。可测位移速度达2m/s。

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源,实现二维摆动;该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad,工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理,实现大角度摆动范围,二维快反镜角度可达3度,带宽达200Hz。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计,显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿,特殊内嵌式培养皿设计。

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下,加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

大行程纳米定位台

平移纳米定位,XY二维平移纳米定位台,旋转台,角位台等运动机构,陶瓷电机,行程达50mm,分辨率达1nm。厚度仅20mm,支持多轴串联结构。

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步进电机平移台

该系列平台质量较轻便,结构设计紧凑,采用传统步进电机技术,提供数字光栅尺和模拟光栅尺两个版本。
推力大,精度高,寿命长,可组成多轴运动平台。

4mK低温定位台

低温定位台可用于强磁场,4mk超低温,5E-11mbar超高真空等极端环境。低温定位台最小仅15×15×10mm。低温定位台支持多轴宏微高精度定位。

精密轴承空气旋转台

该系列为空气轴承转台,具有轴误差及其小,高刚度,高负载等优点。设计体积紧凑,在较小的空间内安装了一个顶配空气轴承,电机及编码器,能够提供优异的角度误差控制及速度稳定性。大通孔设计集成了滑环设计,以及特殊应用的法兰,如x光射线和光探测。