Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面,同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。
Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用,超大负载应用定制。

支持多轴设计。体积紧凑,易于工业集成。重复精度达20nm,绝对精度达±1um。
支持陶瓷电机,步进电机,扭矩电机,直线电机及音圈电机等多种驱动。
超高性价比。
兼容超高真空,低温环境及强磁场环境。
平台材料可选为铝合金,不锈钢,特殊钢(无磁不锈钢,铟钢等),钛合金等。

采用新式大理石平台结构,热膨胀小,温漂小,抗干扰能力强。
无需添加气浮设计,运动过程中摇摆误差仅20微弧度。
主要用于超精密加工及超精密测量。

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源,实现二维摆动;该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad,工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理,实现大角度摆动范围,二维快反镜角度可达3度,带宽达200Hz。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计,显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿,特殊内嵌式培养皿设计。

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下,加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

大行程升降定位台

平移纳米定位,XY二维平移纳米定位台,旋转台,角位台等运动机构,陶瓷电机,行程达50mm,分辨率达1nm。厚度仅20mm,支持多轴串联结构。

linear stage

微型高精度电机平移台

该系列平台质量较轻便,结构设计紧凑,采用传统步进电机技术,提供数字光栅尺和模拟光栅尺两个版本。
推力大,精度高,寿命长,可组成多轴运动平台。

rotator

微型精密旋转台

该系列为陶瓷电机或步进电机转台,具有高精度,高分辨率,带中孔等优点。设计体积紧凑,能根据客户需求选择不同材料。兼容极端环境。