Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面,同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。 Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用,超大负载应用定制。

上海光源SSRF (Shanghai Synchrotron Radiation Facility)08U梦之线顺利交付1吨负载高精度六轴并联定位台
IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器现货
皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器应用专题

皮米精度激光干涉仪,皮米位移测量应用。 支持三轴测量,测距达5m。体积紧凑,易于工业集成。测量精度达±1ppm。 采用法珀干涉原理。 可实现高速测角仪功能。 兼容 10MGy辐射环境。 目标值测量带宽达10MHz。可测位移速度达2m/s。

低温无磁触点开关

可用于超低温,超高真空,强辐射,强磁场下。体积紧凑,稳定性高,兼具高重复精度。主要用于同步辐射,强辐射领域,低温应用领域。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计,显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿,特殊内嵌式培养皿设计。

aquilon

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下,加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

4mK低温定位台

低温定位台可用于强磁场,4mk超低温,5E-11mbar超高真空等极端环境。低温定位台最小仅15×15×10mm。低温定位台支持多轴宏微高精度定位。

大行程纳米定位台

平移纳米定位,XY二维平移纳米定位台,旋转台,角位台等运动机构,陶瓷电机,行程达50mm,分辨率达1nm。厚度仅20mm,支持多轴串联结构。

音圈电机快反镜-300x300

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源,实现二维摆动;该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad,工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理,实现大角度摆动范围,二维快反镜角度可达3度,带宽达200Hz。