纳米级运动定位平台

支持多轴设计。体积紧凑，易于工业集成。重复精度达20nm，绝对精度达±1um。
支持陶瓷电机，步进电机，扭矩电机，直线电机及音圈电机等多种驱动。
超高性价比。
兼容超高真空，低温环境及强磁场环境。
平台材料可选为铝合金，不锈钢，特殊钢（无磁不锈钢，铟钢等），钛合金等。

采用新式大理石平台结构，热膨胀小，温漂小，抗干扰能力强。
无需添加气浮设计，运动过程中摇摆误差仅20微弧度。
主要用于超精密加工及超精密测量。

大角度高动态二维快反镜

二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源，实现二维摆动；该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad，工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理，实现大角度摆动范围，二维快反镜角度可达3度，带宽达200Hz。

压电陶瓷纳米定位台

超薄三维平台设计，显微应用首选。单轴平移台最高自振频率达12500Hz。支持多种样品器皿，特殊内嵌式培养皿设计。

Hexapod六自由度运动模拟器

可实现高动态复杂运动。2t负载下，加速度高达0.7g。主要用于漂流模拟、惯性中心测试、发动机台架测试等。

大行程升降定位台

平移纳米定位，XY二维平移纳米定位台，旋转台，角位台等运动机构，陶瓷电机，行程达50mm，分辨率达1nm。厚度仅20mm，支持多轴串联结构。

微型高精度电机平移台

该系列平台质量较轻便，结构设计紧凑，采用传统步进电机技术，提供数字光栅尺和模拟光栅尺两个版本。
推力大，精度高，寿命长，可组成多轴运动平台。

微型精密旋转台

该系列为陶瓷电机或步进电机转台，具有高精度，高分辨率，带中孔等优点。设计体积紧凑，能根据客户需求选择不同材料。兼容极端环境。