
Hexapod六自由度定位台采用六点支撑运动台面,同时Hexapod六自由度定位台的运动实现目标值。 Hexapod六自由度定位台最高重复精度达250nm。Hexapod六自由度定位台产品系列包含从70mm直径微型Hexapod六自由度定位台到1300mm以上大型Hexapod六自由度定位台。最大负载高达17t。同时Hexapod六自由度定位台支持极端环境应用,超大负载应用定制。
IDS3005皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器现货
皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器应用专题
皮米精度激光干涉仪,皮米位移测量应用。 支持三轴测量,测距达5m。体积紧凑,易于工业集成。测量精度达±1ppm。 采用法珀干涉原理。 可实现高速测角仪功能。 兼容 10MGy辐射环境。 目标值测量带宽达10MHz。可测位移速度达2m/s。
大角度高动态二维快反镜
二维快反镜主要有压电陶瓷二维快反镜及音圈二维快反镜两种。
压电陶瓷二维快反镜采用压电陶瓷作为驱动源,实现二维摆动;该二维快反镜内置电容传感器分辨率达0.05μrad,工作频率达1kHz。音圈二维快反镜则是利用磁驱动原理,实现大角度摆动范围,二维快反镜角度可达3度,带宽达200Hz。
皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器应用
六轴并联定位台应用