二维高速振镜
高带宽，高性价比
二维高速振镜PSH
非接触轴角测量
- 二维高速扫描振镜主要由高速振镜，驱动电路板，XY安装架，防尘顶盖，聚焦透镜转接头，用于安装等转接定位板，25针接头，3针电源接头组成。
- 在不同波长，不同输入孔径下，精密结构设计保证二维高速扫描头可以实现较高的精度，和较小的漂移。
- 在高精度低温漂应用中，表现优异。
- 典型应用包括：3D打印，焊接，刻线，标记，切割以及微结构加工等。
主要参数
| 规格 | PSH10 | PSH14E | PSH14 | PSH14S | PSH14HW |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大允许的激光平均功率 (1) | 100W | 200W | 300W | 300W | 1000W |
| 最大允许的激光功率密度连续波(1) | 100W/cm 2 | 100W/cm 2 | 150W/cm 2 | 150W/cm 2 | 500W/cm 2 |
| 脉冲操作的损伤阈值 ( 脉冲长度为 10 ns 和 200 脉冲 )(1) | 40J/cm 2 | 40J/cm 2 | 40J/cm 2 | 40J/cm 2 | 40J/cm 2 |
| 冷却 | none | none | none | none | water |
| 光圈 | 10mm | 14mm | 14mm | 14mm | 14mm |
| 最大扫描角度(2) | ±11.5° | ±11.5 ° | ±11.5 ° | ±11.5 ° | ±11.5 ° |
| 跟踪误差 | 0.15ms | 0.28ms | 0.2ms | 0.32ms | 0.3ms |
| 阶跃响应 ( 全行程的 1%) | ≤0.32ms | ≤0.56ms | ≤0.4ms | ≤0.7ms | ≤0.6ms |
| 线性度 | 0.999 | 0.995 | 0.999 | 0.999 | 0.999 |
| 分辨率 | ≤1 μRad | ≤2 μRad | ≤1 μRad | ≤1 μRad | ≤1 μRad |
| 重复性 | ≤2 μRad | ≤5 μRad | ≤ 2 μRad | ≤ 2 μRad | ≤ 2 μRad |
| 漂移 | ≤ 3 μRad/℃ | ≤5 μRad | ≤ 3 μRad/℃ | ≤ 3 μRad/℃ | ≤ 3 μRad/℃ |
| 大于 8 小时的长期漂移 | ≤ 50 μRad | ≤ 100 μRad | ≤ 50 μRad | ≤ 30 μRad | ≤ 30 μRad |
| （预热 15 分钟后） | |||||
| 工作温度范围 | 25℃ ± 10℃ | 25℃ ± 10℃ | 25℃ ± 10℃ | 25℃ ± 10℃ | 25℃ ± 10℃ |
| 信号接口 ( 模拟 ) | ±10 V | ±10 V | ±10 V | ±10 V | ±10 V |
| 信号接口 ( 数字 ) | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 | XY2-100 |
| 输入功率要求 (DC) | ±15V @ 4A Max RMS | ±15V @ 4A Max RMS | ±15V @ 4A Max RMS | ±15V @ 4A Max RMS | ±15V @ 4A Max RMS |