nPBio300
nPBio300 Nanopositioning Piezo Stage
nPBio300是一款通用重载大行程三维压电纳米定位台,最大承载5kg,行程300μm×300μm×300μm,通孔尺寸85mm×88mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。
应用
- 纳米加工
- 纳米计量
- 纳米压印
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
型号 | 3715245-300 |
尺寸(mm) | 179 x 179 x 32 |
最大负载(kg) | 5 |
最大推力(N) | 100 / 20 |
自重(g) | 1590 |
运动轴 | X|Y|Z |
闭环行程(µm) | 300|300|300 |
开环行程(µm) | 360|360|360 |
噪声值(nm) | 2|2|2 |
通孔(mm) | 85 x 88 |
3715245-300 | |
刚度(N/µm) | 1.1|1.1|1.0 |
共振频率(Hz) | 200|200|200 |
稳态时间(ms) | 20|20|20 |
线性度(%) | 0.02|0.02|0.02 |
电容量(µF) | 8.2|8.2|7.7 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.403 |
材质 | 不锈钢 & 铝合金 |