NPXY80Z5-272
NPXY80Z5-272 Nanopositioning Piezo Stage
应用
- 光学测量
- 纳米加工
- AFM
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
| 型号 | 3715272 |
| 尺寸(mm) | 37x 37x 48.3 |
| 最大负载(kg) | 0.5 |
| 最大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 290 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 80|80|5 |
| 开环行程(µm) | 125|125|10 |
| 噪声值(nm) | 0.3|0.3|0.07 |
| 3715264 | |
| 刚度(N/µm) | 0.6|0.5|7.1 |
| 共振频率(Hz) | 400|450|2000 |
| 稳态时间(ms) | 10|10|30 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01|0.5 |
| 电容量(µF) | 1.5|1.5|2.4 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | 不锈钢 |
尺寸图
