NPXY10Z5-187
NPXY10Z5-187 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY10Z5是一款小尺寸高速三维压电扫描台，扫描范围10μm×10μm×5μm，亚纳米分辨率，无负载自振频率高达1200|2000Hz。结构紧凑，适用于扫描显微/原子力显微，以及空间受限，且需要做高频扫描的应用。
应用
- 原子力显微镜
- SNOM
- 其他各种SPM
- 纳米光刻
- 纳米计量
主要参数
| 型号 | 3715187 |
| 尺寸(mm) | 40 x 40 x 30 |
| 最大负载(kg) | 0.5 |
| 最大推力(N) | 100 / 10 |
| 自重(g) | 180 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 10|10|5 |
| 开环行程(µm) | 15|15|9 |
| 噪声值(nm) | 0.2|0.2|0.1 |
| 3715187 | |
| 刚度（N/µm） | 15.0|15.0|28.4 |
| 共振频率（Hz） | 1200|1200|2000 |
| 稳态时间（ms） | 5|5|2 |
| 线性度（%） | 0.03|0.03|0.5 |
| 电容量（µF） | 0.5|0.5|3.2 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m） | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | Invar |
尺寸图
