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NPXY10Z5-187

NPXY10Z5-187 Nanopositioning Piezo Stage

NPXY10Z5是一款小尺寸高速三维压电扫描台,扫描范围10μm×10μm×5μm,亚纳米分辨率,无负载自振频率高达1200|2000Hz。结构紧凑,适用于扫描显微/原子力显微,以及空间受限,且需要做高频扫描的应用。

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应用

  • 原子力显微镜
  • SNOM
  • 其他各种SPM
  • 纳米光刻
  • 纳米计量

主要参数

型号3715187
尺寸(mm)40 x 40 x 30
最大负载(kg)0.5
最大推力(N)100 / 10
自重(g)180
运动轴X|Y|Z
闭环行程(µm)10|10|5
开环行程(µm)15|15|9
噪声值(nm)0.2|0.2|0.1
3715187
刚度(N/µm)15.0|15.0|28.4
共振频率(Hz)1200|1200|2000
稳态时间(ms)5|5|2
线性度(%)0.03|0.03|0.5
电容量(µF)0.5|0.5|3.2
集成传感器纳米精度电容位移传感器
电缆长度(m)2
控制器LC.403
材质Invar

尺寸图

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