NPXY10Z5-187
NPXY10Z5-187 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY10Z5是一款小尺寸高速三维压电扫描台,扫描范围10μm×10μm×5μm,亚纳米分辨率,无负载自振频率高达1200|2000Hz。结构紧凑,适用于扫描显微/原子力显微,以及空间受限,且需要做高频扫描的应用。
应用
- 原子力显微镜
- SNOM
- 其他各种SPM
- 纳米光刻
- 纳米计量
主要参数
型号 | 3715187 |
尺寸(mm) | 40 x 40 x 30 |
最大负载(kg) | 0.5 |
最大推力(N) | 100 / 10 |
自重(g) | 180 |
运动轴 | X|Y|Z |
闭环行程(µm) | 10|10|5 |
开环行程(µm) | 15|15|9 |
噪声值(nm) | 0.2|0.2|0.1 |
3715187 | |
刚度(N/µm) | 15.0|15.0|28.4 |
共振频率(Hz) | 1200|1200|2000 |
稳态时间(ms) | 5|5|2 |
线性度(%) | 0.03|0.03|0.5 |
电容量(µF) | 0.5|0.5|3.2 |
集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
电缆长度(m) | 2 |
控制器 | LC.403 |
材质 | Invar |