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NPXY200-101

NPXY200-101 Nanopositioning Piezo Stage

NPXY200-101是一款标准二维纳米扫描台,扫描范围200μm×200μm,亚纳米分辨率。适用于光学测量、纳米加工、AFM、光存储/磁存储、材料科学等应用。

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应用

  • 光学测量
  • 纳米加工
  • AFM
  • 光存储/磁存储
  • 材料科学

主要参数

型号3715101
尺寸(mm)100 x 100 x 23
最大负载(kg)1
最大推力(N)100 / 20
自重(g)460
运动轴X|Y
闭环行程(µm)200|200
开环行程(µm)290|290
噪声值(nm)0.5|0.5
通孔(mm)∅40
3715101
刚度(N/µ)0.5|0.5
共振频率(Hz)400|400
稳态时间(ms)15|15
线性度(%)0.01|0.01
电容量(µF)3.1|3.1
集成传感器纳米精度电容位移传感器
电缆长度(m)2
控制器LC.402
材质铝合金

尺寸图

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