ANPx321NUM 纳米级精度陶瓷电机水平运动台 closed loop 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页 15mm行程 2kg负载 4mK工作温度 ANPx321NUM 主要参数 尺寸 面积及高度44x41.6;11.5 mm 最大安装空间44x49.1;11.5 mm 重量81g 定位精度 编码类型光电子传感器 传感绝对精度1nm 重复性50 nm 控制器 闭环控制器ANC350/NUM 其它详细信息见型号开环ANPx321 尺寸图 Related PostsFSM-752024年8月2日展会信息2024年2月4日exhibition2023年6月29日SOLANO2023年2月3日HEGOA Hexapod2022年12月27日FSM-20S2022年5月29日
