ANPx321
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
open loop
- 15mm行程
- 2kg负载
- 4mK工作温度
主要参数
尺寸 | |
面积及高度 | 40*41.6;11.5mm |
最大安装空间 | 40*56.6;11.5mm |
重量 | 74g |
材料(无磁) | |
台体 | 钛 |
促动器 | 压电陶瓷 |
轴承 | 陶瓷 |
导向杆 | 陶瓷 |
线缆 | 绝缘双绞线,铜线 |
可选项 | |
兼容环境 | /RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV |
材料 | |
编码器 | /RES, /NUM, /NUM+ |
高负载 | /HL/RT, /HL(U)HV, HL/LT, HL/LT/(U)HV |
控制器 | |
开环控制器 | ANC300: ANM150, ANM300 |
粗调模式 | |
行程(步进模式) | 15mm |
典型最小步长 | 100 nm @ 300 K, 20nm @ 4 K |
最大驱动速度(@300K,无负载) | 大约 3 mm/s |
微调模式 | |
微调范围 | 0 .. 7.5 μm @ 300 K, 0 .. 1.2 μm @ 4 K |
微调分辨率 | 亚纳米 |
运动绝对精度(开环) | |
步长重复性 | 典型值全行程5% |
前后步长对称性 | 典型值5-10% |
负载@常温环境(安装方向:水平轴向) | |
最大垂向负载 | 20 N (2 kg) |
最大轴向动态输出力 | 2 N |