音圈快反镜 FSM-75
非接触轴角测量/音圈摆镜
音圈快反镜FSM-75
非接触轴角测量
- 温漂较小（≤3μrad/℃）；
- 静态功耗（5W）
- 分辨率及重复精度较优；分辨率≤1μrad，重复精度≤2μrad
- 高带宽独创的控制算法，有效拓展了音圈驱动系统的闭环带宽
- 系统、结构、电路综合优化保证了极好的环境适应性
主要参数
| FSM-75 | |
| 运动自由度 | 2 |
| 有效镜片直径 | 73 mm |
| 小步长阶越响应时间(1mrad) | ≤ 2ms |
| 角范围(机械角) | ±1.5° |
| 角分辨率 | ≤1 μrad |
| 重复定位精度 | ≤2 μrad |
| 温度漂移 | ≤3 μrad/℃ |
| 线性度 | ≥99.80% |
| 闭环带宽(-3dB@1mrad) | 350Hz |
| 工作温度范围 | -55℃~+75℃ |
| 反射镜面形(RMS) | ≤λ/40 |
| 静态功耗 | 5W |
