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精密空气轴承旋转台

Rotary Stage

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旋转台RT 075S

旋转台RT 100S

旋转台RT 150S

旋转台 RT 150U

旋转台 RT 250S

旋转台 RT500S

主要参数

型号Rotary Stage RT075SRotary Stage RT100SRotary Stage RT150SRotary Stage RT150URotary Stage RT250SRotary Stage RT500S
Max. axial load 最大轴负载137 N206 N434 N726 N804 N8300 N
Max. radial load 最大侧向负载51 N78 N226 N264 N452 N2570 N
Axial stiffness 轴刚性68 N/µm103 N/μm217 N/μm242 N/µm402 N/μm1660 N/μm
Radial stiffness 侧向刚性25 N/µm39 N/μm113 N/μm88 N/µm226 N/μm514 N/μm
Tilt stiffness 摇摆刚性33 Nm/mrad90 Nm/mrad455 Nm/mrad204 Nm/mrad2380 Nm/mrad37,4 Nm/µrad
Radial error motion 端跳误差< 100 nm LSC< 100 nm LSC< 100 nm LSC< 20 nm LSC< 100 nm LSC< 100 nm LSC
Axial error motion 轴误差< 50 nm LSC< 50 nm LSC< 50 nm LSC< 20 nm LSC< 50 nm LSC< 50 nm LSC
Air consumption 耗气量< 4 Nl/min< 8 Nl/min< 10 Nl/min< 20 Nl/min< 15 Nl/min< 100 Nl/min
Total mass 重量0,6 kg1,6 kg4,0 kg15,2 kg16,5 kg175 kg
Encoder 编码器11840 periods15744 periods23600 periods23600 periods40000 periods47200 periods
Nominal torque 标称扭矩0,04 Nm0,13 Nm0,45 Nm0,5 Nm1,5 Nm3,0 Nm
Peak torque 峰值扭矩0,13 Nm0,4 Nm1,35 Nm1,5 Nm4,5 Nm9,0 Nm
Max. speed 最大速度300 rpm200-1200 rpm200-800 rpm200 rpm120 rpm60 rpm
Angular accuracy 角精度13,8 arcsec10,3 arcsec6,9 arcsec6,9 arcsec4,0 arcsec2,9 arcsec
Material 材料coated aluminiumcoated aluminiumcoated aluminiumstainless steel
coated aluminiumstainless steel

旋转台 RT100B

旋转台 RT150B

型号Rotary Stage RT100BRotary Stage RT150B
Max. axial load 最大轴负载300 N740 N
Max. radial load 最大侧向负载500 N1525 N
Axial stiffness 轴刚性100 N/µm160 N/µm
Radial stiffness 侧向刚性200 N/μm320 N/µm
Radial error motion 端跳误差< 2 μm< 1µm
Axial error motion 轴误差< 2 μm< 1 µm LSC
Encoder 编码器15744 periods23600 periods
Nominal torque 标称扭矩0,3 Nm0,5 Nm
Peak torque 峰值扭矩0,6 Nm1,5 Nm
Max. speed 最大速度200 rpm400 rpm
Angular accuracy 角精度10,3 arcsec6,9 arcsec
Material 材料coated aluminiumstainless steel

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