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旋转平台 RT100S

Rotary Stage RT100S

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主要参数

Rotary Stage RT100S
Max. axial load 最大轴负载206 N
Max. radial load 最大侧向负载78 N
Axial stiffness 轴刚性103 N/μm
Radial stiffness 侧向刚性39 N/μm
Tilt stiffness 摇摆刚性90 Nm/mrad
Radial error motion 端跳误差< 100 nm LSC
Axial error motion 轴误差< 50 nm LSC
Resolution分辨率 <0.1arcsec,取决于细分比(4× ~ 20000×)
Repeatability重复精度 <0.5 arcsec 或者2倍分辨率
Air consumption 耗气量< 8 Nl/min
Total mass 重量1,6 kg
Encoder 编码器15744 periods
Nominal torque 标称扭矩0,13 Nm
Peak torque 峰值扭矩0,4 Nm
Max. speed 最大速度200-1200 rpm
Angular accuracy 角精度10,3 arcsec
Material 材料coated aluminium

尺寸图

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