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陶瓷定位电机技术

压电陶瓷电机是最近20年发展起来的新技术。在几种主要的陶瓷电机构型中,惯性陶瓷电机(piezo inertia drive,又称slip-stick piezo motor)由于结构简单,尺寸紧凑,成为最有应用前景的构型。Attocube惯性陶瓷电机技术结合新型光栅尺技术制成的陶瓷电机纳米定位台,可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长,从而解决了传统纳米台行程不足,而微米电动台分辨精度不高的问题,成功填补了宏微定位技术领域的产品和技术空白。

由于工艺的不断成熟和成本的不断下降,陶瓷电机纳米定位台的性价比已经明显优于传统压电纳米台,甚至低于高精度的微型电机定位台,在很多应用中已经取代这两种产品。并且,陶瓷电机技术还在向更大的推力、更高的速度、更快的调制频率方向发展,在未来将会出现在越来越多的高技术应用领域。

与此同时,我们也提供attocube的极端环境(低温、强磁场、超小尺寸等)系列超精密陶瓷电机纳米定位台,基本选型可以参看简介并与动智精密的工程支持团队联系,电话021-68370027,邮箱info@motionsmart.cn。

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工作原理及环境定义

位移传感器及控制器选择
ECS系列多轴叠加安装
术语定义
真空导引/穿通件FEEDTHROUGH
ECS_3060_S

一维微型纳米定位平移台

可兼容真空环境
闭环分辨率达1nm
最大速度达4.5mm/s
含铝及不锈钢版本

型号行程(mm)闭环重复精度(nm)开环最小步长(nm)最大负载(N)尺寸(mm 3 )
ECS30302050509030×30×9.5
ECS304025505012030×40×9.5
ECS305030505015030×40×9.6
ECS306035505018030×40×9.7
ECS307040505021030×40×9.8
ECS308050505024030×80×9.5
ECS505030505015050×50×9.5

二维微型纳米定位平移台

传感器精度<全行程0.01%
闭环分辨率达1nm
最大速度达4.5mm/s
驱动力2N

型号行程(mm)闭环重复精度(nm)开环最小步长(nm)最大负载(N)尺寸(mm 3 )
ECSxy505025×25505015050×50×16.4

一维高精度电控摇摆台

可兼容真空环境
最大负载10N
最大速度达3°/s
尺寸为50×50×17mm3

型号行程(°)开环微调范围(m°)闭环重复精度(μ°)开环最小步长(m°)驱动力扭矩(Ncm)
ECGt5050101.4±500.18.7(43.5可选)
ECGp5050101.1±500.17(35可选)

陶瓷电机旋转台

可兼容真空环境
最大负载20N
最大速度达10°/s
含铝及不锈钢版本

型号行程(°)开环微调范围(m°)闭环重复精度(m°)开环最小步长(m°)驱动力扭矩(Ncm)
ECR303036012±0.5102
ECR40403606±2102
ECR50503606±0.5204

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