RXY3-276
RXY3-276 Nanopositioning Piezo Stage
RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台，摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度，使得镜片的偏转角度变化，实现光束调节。主要用于光束调整，干涉测量，光学显微镜，光刻，图像分辨率的提高。
应用
- 光束调整
- 干涉测量
- 光学显微镜
- 光刻
- 图像分辨率的提高
| 型号 | 3715276 | 3715276 | |
| 尺寸(mm) | 37.5mm H x 25mm ∅ | 共振频率(Hz) | 2.4 kHz Unloaded, 1.7 kHz with 25mm Ø x 8mm Mirror |
| 最大负载(kg) | 3 inch Mirror | 稳态时间(ms) | 3 |
| 最大推力(N) | NA | 线性度(%) | 0.1 |
| 自重(g) | 90 | 电容量(µF) | 1.8 |
| 运动轴 | Tip-Tilt | 集成传感器 | Strain Gauge |
| 闭环行程(mrad) | 3 | 电缆长度（m) | 2 |
| 开环行程(mrad) | 3.5 | 控制器 | LC.402 |
| 噪声值(µrad) | 0.05 | 材质 | Invar 36 or Stainless Steel |
| 直径 | NA |
尺寸图
