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RXY3-276

RXY3-276 Nanopositioning Piezo Stage

RXY3-276是一款超高速闭环偏摆台,摆角为3mradx3mrad。摆台上方可安装不同规格的反射镜片。通过调整角度,使得镜片的偏转角度变化,实现光束调节。主要用于光束调整,干涉测量,光学显微镜,光刻,图像分辨率的提高。
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应用

  • 光束调整
  • 干涉测量
  • 光学显微镜
  • 光刻
  • 图像分辨率的提高
型号37152763715276
尺寸(mm)37.5mm H x 25mm ∅共振频率(Hz)2.4 kHz Unloaded, 1.7 kHz with 25mm Ø x 8mm Mirror
最大负载(kg)3 inch Mirror稳态时间(ms) 3
最大推力(N)NA线性度(%)0.1
自重(g)90电容量(µF)1.8
运动轴Tip-Tilt集成传感器Strain Gauge
闭环行程(mrad)3电缆长度(m)2
开环行程(mrad)3.5控制器LC.402
噪声值(µrad)0.05材质 Invar 36 or Stainless Steel
直径NA

尺寸图

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