SIRIUS六轴并联定位台
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主要参数
| SIRIUS | |
| 运动及定位 | |
| 行程Tx,Ty(mm) | ±150 |
| 行程Tz(mm) | ±100 |
| 行程Rx,Ry(deg) | ±20 |
| 行程Rz(deg) | ±20 |
| 分辨率Tx,Ty,Tz(μm) | 5 |
| 分辨率Rx,Ry,Rz(μrad) | 10 |
| 重复精度Tx,Ty(μm) | ±6 |
| 重复精度Tz(μm) | ±4 |
| 重复精度Rx,Ry(μrad) | ±20 |
| 重复精度Rz(μrad) | ±35 |
| 速度(mm/s;deg/s) | 8; 2.5 |
| 机械特性 | |
| 负载(kg)(垂直方向/水平方向) | 200 / 80 |
| 电机类型 | 带绝对编码器的无刷电机 |
| SIRUIS | |
| 其它特性 | |
| 工作温度(℃) | 0~+50 |
| 材料 | 铝，不锈钢，铟钢 |
| 运动台面(mm) | Φ520 |
| 中间位置高度(mm) | 750 |
| 质量(kg) | 85 |
| 线长(m) | 5 |
| 可选项 | 真空兼容；用户可以定制平台面 |
| 控制器 | |
| 控制类型 | VEGA |
| 接口 | Ethernet，USB |
| 输出功率 | 400VAC(三相)/ 50-60Hz |
尺寸图
