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SIRIUS六轴并联定位台

High resolution hexapod large size

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  • 水平运动范围±100mm
  • 角度运动范围:±20°
  • 负载达200kg
DATA文件下载

主要参数

SIRIUS
运动及定位
行程Tx,Ty(mm)±150
行程Tz(mm)±100
行程Rx,Ry(deg)±20
行程Rz(deg)±20
分辨率Tx,Ty,Tz(μm)5
分辨率Rx,Ry,Rz(μrad)10
重复精度Tx,Ty(μm)±3
重复精度Tz(μm)±2
重复精度Rx,Ry(μrad)±10
重复精度Rz(μrad)±17.5
速度(mm/s;deg/s)8; 2.5
机械特性
负载(kg)(垂直方向/水平方向)200 / 80
电机类型带绝对编码器的无刷电机
SIRUIS
其它特性
工作温度(℃)0~+50
材料铝,不锈钢,铟钢
运动台面(mm)Φ520
中间位置高度(mm)750
质量(kg)85
线长(m)5
可选项真空兼容;用户可以定制平台面
控制器
控制类型VEGA
接口Ethernet,USB
输出功率110-240VAC或400VAC(三相)/ 50-60Hz

尺寸图

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