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ZONDA六轴并联定位台

Very stable hexapod with high precision

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  • 超高稳定性
  • 分辨率0.1μm
  • 负载达400kg
  • 真空兼容
  • 超大行程
data文件下载

主要参数

ZONDA SZONDA
运用于小行程运用于大行程
运动及定位
行程Tx,Ty(mm)±50±200
行程Tz(mm)±25±150
行程Rx,Ry(deg)±10±20
行程Rz(deg)±20±20
分辨率Tx,Ty,Tz(μm)0.10.1
分辨率Rx,Ry,Rz(μrad)1.50.5
重复精度Tx,Ty,Tz(μm)±0.25±0.25
重复精度Rx,Ry,Rz(μrad)±2.5±1
速度Tx,Ty(mm/s)0.550.8
速度Tz(mm/s)0.40.4
速度Rx,Ry(deg/s)0.0750.2
速度Rz(deg/s)0.120.4
机械特性
刚度X,Y(N/μm)58.5
刚度Z(N/μm) 5030
负载(kg)(垂直方向/水平方向)400/140400/140
电机类型步进电机步进电机
传感器类型绝对光栅尺绝对光栅尺
其它特性
工作温度(℃)0~+750~+75
材料铝,不锈钢,铟钢,聚醚醚酮铝,不锈钢,铟钢,聚醚醚酮
运动台面(mm)Φ320Φ720
中间位置高度(mm)360640
质量(kg)3799
线长(m)<5<5
可选项洁净间兼容;真空兼容;
用户可以定制平台面;
无刷或直流电机下高速;
手持控制组件;尺寸可调节.
洁净间兼容;真空兼容;
用户可以定制平台面;
无刷或直流电机下高速;
手持控制组件;尺寸可调节.
控制器
控制类型ALPHA+ALPHA+
接口EthernetEthernet
输出功率110-240 VAC/ 50-60Hz110-240 VAC/ 50-60Hz

尺寸图

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