ZONDA六轴并联定位台
Very stable hexapod with high precision
主要参数
| ZONDA | |
| 运动及定位 | |
| 行程Tx,Ty(mm) | ±200 |
| 行程Tz(mm) | ±150 |
| 行程Rx,Ry(deg) | ±20 |
| 行程Rz(deg) | ±20 |
| 分辨率Tx,Ty,Tz(μm) | 0.1 |
| 分辨率Rx,Ry,Rz(μrad) | 0.5 |
| 重复精度Tx,Ty,Tz(μm) | ±0.25 |
| 重复精度Rx,Ry,Rz(μrad) | ±1 |
| 速度(mm/s;deg/s) | 0.6; 0.04 |
| 机械特性 | |
| 刚度X,Y（N/μm) | 8.5 |
| 刚度Z（N/μm) | 30 |
| 负载(kg)(垂直方向/水平方向) | 400 / 140 |
| 电机类型 | 步进电机 |
| 传感器类型 | 绝对光栅尺 |
| ZONDA | |
| 其它特性 | |
| 工作温度(℃) | 0~+75 |
| 材料 | 铝，不锈钢，铟钢，聚醚醚酮 |
| 运动台面(mm) | Φ720 |
| 中间位置高度(mm) | 640 |
| 质量(kg) | 96 |
| 线长(m) | <5 |
| 可选项 | 洁净间兼容；真空兼容；用户可以定制平台面 |
| 控制器 | |
| 控制类型 | ALPHA |
| 接口 | Ethernet，USB |
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz |
尺寸图
