NPXY100Z100-135
NPXY100Z100-135 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY100Z100-135是一款重载三维压电纳米定位台，最大承载5kg，行程100μm×100μm×100μm，通孔尺寸68mm×68mm。适用于纳米加工、纳米压印、光学测量、存储科学、材料科学等应用。
应用
- 纳米加工
- 纳米计量
- 纳米压印
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
| 型号 | 3715135 |
| 尺寸(mm) | 140 x 140 x 38 |
| 最大负载(kg) | 5 |
| 最大推力(N) | 100 / 20 |
| 自重(g) | 950 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 100|100|100 |
| 开环行程(µm) | 175|175|135 |
| 噪声值(nm) | 0.3|0.3|0.3 |
| 通孔(mm) | 68 x 68 |
| 3715135 | |
| 刚度(N/µm) | 1.3|1.3|5.6 |
| 共振频率(Hz) | 500|500|500 |
| 稳态时间(ms) | 10|10|10 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01|0.02 |
| 电容量(µF) | 4.8|4.8|5.5 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | 铝合金 |
尺寸图
