NPXY100Z10-128
NPXY100Z10-128 Nanopositioning Piezo Stage
NPXY100Z10-128是一款带大口径通孔和高速Z轴的三维纳米扫描台，扫描范围100μm×100μm×10μm，亚纳米分辨率。适用于光学测量、纳米加工、AFM、光存储/磁存储、材料科学等应用。
应用
- 光学测量
- 纳米加工
- AFM
- 光存储/磁存储
- 材料科学
主要参数
| 型号 | 3715128 |
| 尺寸(mm) | 140 x 140 x 30 |
| 最大负载(kg) | 5 |
| 最大推力(N) | 100 / 20 |
| 自重(g) | 870 |
| 运动轴 | X|Y|Z |
| 闭环行程(µm) | 100|100|10 |
| 开环行程(µm) | 160|160|15 |
| 噪声值(nm) | 0.3|0.3|0.1 |
| 通孔(mm) | 68 x 68 |
| 3715128 | |
| 刚度(N/µm) | 3.0|3.0|6.2 |
| 共振频率(Hz) | 600|600|900 |
| 稳态时间(ms) | 10|10|5 |
| 线性度(%) | 0.01|0.01|0.02 |
| 电容量(µF) | 4.8|4.8|1.0 |
| 集成传感器 | 纳米精度电容位移传感器 |
| 电缆长度（m) | 2 |
| 控制器 | LC.403 |
| 材质 | 铝合金 |
尺寸图
