音圈快反镜
非接触轴角测量/音圈摆镜
音圈快反镜FSM-20
非接触轴角测量
- 温漂较小（≤3μrad/℃）
- 静态功耗极低（3.5W）
- 分辨率及重复精度较优；分辨率≤0.5μrad，重复精度≤1μrad
- 响应时间短，带宽可达（1kHz)
- 采用音圈电机作为驱动源，反射角较大，并且兼容各种极端环境
主要参数
| FSM-20 | |
| 运动轴 | 𝜃x/𝜃y |
| 镜片直径 | 18mm |
| 最小上升时间 | ≤0.8ms |
| 行程 | ±1.5° |
| 分辨率 | ≤1μrad |
| 重复精度 | ≤2μrad |
| 温度漂移 | ≤3μrad/℃ |
| 线性度 | ≥99.80% |
| 闭环带宽（ -3db@1mrad ）与负载镜片重量相关 | 800Hz |
| 工作温度 | -55℃~+75℃ |
| 反射镜面形 | ≤λ/60（RMS） |
| 重量 | 200g |
| 静态功耗 | 3.5W |
| 信号输入 | 模拟： ±10V |
| 输入功率 | ±15VDC @ 3A RMS (MAX) |
安装尺寸图
