➡️ 应用领域
▫️光束对准 ▫️光学稳像 ▫️自适应光学 ▫️超分辨率成像 ▫️机器视觉 ▫️激光通信 ▫️激光加工 ▫️半导体生产 ▫️图像运动补偿 ▫️OCT
产品参数表
| 指标项/型号 | FSM20S | FSM25 | FSM50 | FSM75 |
|---|---|---|---|---|
| 运动自由度 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 小步长阶越响应时间(1mrad) | ≤1ms | ≤1ms | ≤2ms | ≤2.5ms |
| 角范围(机械角) | ±1.5° | ±1.5° | ±1.5° | ±1.5° |
| 角分辨率 | ≤1µrad | ≤1µrad | ≤1µrad | ≤1µrad |
| 重复定位精度 | ≤2µrad | ≤2µrad | ≤2µrad | ≤2µrad |
| 温度漂移 | ≤3µrad/℃ | ≤3µrad/℃ | ≤3µrad/℃ | ≤3µrad/℃ |
| 线性度 | ≥99.8% | ≥99.8% | ≥99.8% | ≥99.8% |
| 闭环带宽(-3dB@lmrad) | ≥800Hz | ≥800Hz | ≥500Hz | ≥350Hz |
| 工作温度范围 | 0℃~40℃ | 0℃~40℃ | 0℃~40℃ | 0℃~40℃ |
| 反射镜面型(RMS) | ≤λ /60 | ≤λ /60 | ≤λ /50 | ≤λ /40 |
| 静态功耗 | 3.5W | 3.5W | 4.8W | 5W |
| 控制方式 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 | 模拟/数字控制 |
| 电源需求 | ±15VDC@3A RMS(MAX) | ±15VDC@3A RMS(MAX) | ±15VDC@3A RMS(MAX) | ±15VDC@5A RMS(MAX) |