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音圈快反镜

非接触轴角测量/音圈摆镜

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音圈快反镜FSM-20S

非接触轴角测量

  • 温漂较小(≤3μrad/℃)
  • 静态功耗极低(3.5W)
  • 分辨率及重复精度较优;分辨率≤0.5μrad,重复精度≤1μrad
  • 响应时间短,带宽可达(1kHz)
  • 采用音圈电机作为驱动源,反射角较大,并且兼容各种极端环境

主要参数

FSM-20S
运动轴𝜃x/𝜃y
镜片直径18mm
最小上升时间 ≤0.8ms
行程±1.5°
分辨率≤0.5μrad
重复精度≤1μrad
温度漂移≤3μrad/℃
线性度0.002
闭环带宽( -3db@1mrad )与负载镜片重量相关1kHz
工作温度-40℃~60℃
反射镜面形≤λ/60(RMS)
重量160g
静态功耗3.5W
信号输入模拟: ±10V 或 ±5V
输入功率±15VDC @ 3A RMS (MAX)

安装尺寸图

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