BREVA六轴并联定位台
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主要参数
| BREVA DC | BREVA ST | BREVA BL | |
| 运动及定位 | |||
| 行程Tx,Ty(mm) | ±75 | ±75 | ±75 |
| 行程Tz(mm) | ±50 | ±50 | ±50 |
| 行程Rx,Ry(deg) | ±20 | ±20 | ±20 |
| 行程Rz(deg) | ±22 | ±22 | ±22 |
| 分辨率Tx,Ty,Tz(μm) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 分辨率Rx,Ry,Rz(μrad) | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
| 重复精度Tx,Ty,Tz(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
| 重复精度Rx,Ry,Rz(μrad) | ±2.5 | ±2.5 | ±2.5 |
| 速度(mm/s;deg/s) | 8;2 | 0.8;0.25 | 3;1 |
| 机械特性 | |||
| 刚度X,Y（N/μm) | 5 | 5 | 5 |
| 刚度Z（N/μm) | 32 | 32 | 32 |
| 负载(kg)(垂直方向/水平方向) | 25 / 10 | 200 / 80 | 200 / 80 |
| 电机类型 | DC电机，齿轮减速结构 | 步进电机，齿轮减速结构 | 无刷电机，齿轮减速结构 |
| 其它特性 | |||
| 工作温度(℃) | 0~50 | 0~50 | 0~50 |
| 材料 | 铝，铁，不锈钢 | 铝，铁，不锈钢 | 铝，铁，不锈钢 |
| 运动台面(mm) | Φ300 | Φ300 | Φ300 |
| 中央孔径(mm) | Φ150 | Φ150 | Φ150 |
| 中间位置高度(mm) | 350 | 350 | 350 |
| 质量(kg) | 32 | 36 | 36 |
| 线长(m) | 3 | 3 | 3 |
| 可选项 | 绝对编码器；洁净间兼容；真空兼容；用户可以定制平台面 | ||
| 控制器 | |||
| 控制类型 | ALPHA | ||
| 接口 | Ethernet，USB | ||
| 输出功率 | 110-240 VAC/ 50-60Hz | ||
尺寸图
