ANSz50
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
open loop
- 2 µm定位精度
- 50g负载
- 4mK工作温度
主要参数
尺寸 | |
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面积及高度 | 15x15; 6mm |
重量 | 4.5g |
材料(无磁) | |
台体 | 钛 |
促动器 | 压电陶瓷 |
线缆 | 绝缘双绞线,铜线 |
可选项 | |
兼容环境 | /RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV |
材料 | /CuBe |
控制器 | |
开环控制器 | ANC300: ANM200, ANM300 |
闭环控制器 | ANC350/FPS |
微调模式 | |
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微调范围 | 4.3 µm @ 300 K 2 µm @ 4 K |
微调绝对精度 | 亚纳米 |
运动绝对精度(开环) | |
扫描重复性 | 典型值0.1% |
爬行 | 典型值每十年0.5-0.8% |
线性 | 典型值5-10% |
负载@常温环境(安装方向:水平轴向) | |
最大垂向负载 | 0.5N(50g) |
最大轴上扭矩 | 10Ncm |