ANSz100
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
open loop
主要参数
| 尺寸 | |
|---|---|
| 面积及高度 | 24 x 24; 10 mm |
| 重量 | 19 g |
| 材料（无磁） | |
| 台体 | 钛 |
| 促动器 | 压电陶瓷 |
| 驱动轴 | 陶瓷 |
| 线缆 | 绝缘双绞线，铜线 |
| 可选项 | |
| 兼容环境 | /RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV |
| 材料 | /CuBe |
| 控制器 | |
| 开环控制器 | ANC300: ANM200, ANM300 |
| 闭环控制器 | ANC350/FPS |
| 微调模式 | ||
|---|---|---|
| 微调范围 | 标准范围 | 24 µm @ 300 K 15 µm @ 4 K |
| 最大范围 | 50 µm @ 300 K 30 µm @ 4 K |
|
| 高稳定度 | 4.3 µm @ 300 K 2 µm @ 4 K |
|
| 微调绝对精度 | 亚纳米 | |
| 运动绝对精度 | ||
| 重复性 | 典型值0.1% | |
| 爬行 | 典型值每十年0.5-0.8% | |
| 线性 | 典型值5-10% | |
| 负载@常温环境（安装方向：水平轴向） | ||
| 最大垂向负载 | 1N（100g) | |
| 最大轴上扭矩 | 20Ncm |
尺寸图
