ANPz101eXT12/RES
纳米级精度陶瓷电机水平运动台
closed loop
- 12mm行程
- 200g负载
- 4mK工作温度
主要参数
尺寸 | |
面积及高度 | 24*24;32mm |
最大尺寸 | 24*24;44mm |
重量 | 62.5g |
定位精度 | |
编码类型 | 电阻式传感器 |
传感绝对精度 | 大约 200 nm |
重复性 | 大约 1 .. 2 µm |
控制器 | |
闭环控制器 | ANC350/RES |
其它详情查看型号开环ANPz101eXT12
closed loop
尺寸 | |
面积及高度 | 24*24;32mm |
最大尺寸 | 24*24;44mm |
重量 | 62.5g |
定位精度 | |
编码类型 | 电阻式传感器 |
传感绝对精度 | 大约 200 nm |
重复性 | 大约 1 .. 2 µm |
控制器 | |
闭环控制器 | ANC350/RES |
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