ANPz101eXT12/RES 纳米级精度陶瓷电机水平运动台 closed loop 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页 12mm行程 200g负载 4mK工作温度 ANPz101eXT12RES 主要参数 尺寸 面积及高度24*24;32mm 最大尺寸24*24;44mm 重量62.5g 定位精度 编码类型电阻式传感器 传感绝对精度大约 200 nm 重复性大约 1 .. 2 µm 控制器 闭环控制器ANC350/RES 其它详情查看型号开环ANPz101eXT12 尺寸图 Related Postsoverview20252025年5月9日FSM-752024年8月2日展会信息2024年2月4日exhibition2023年6月29日SOLANO2023年2月3日HEGOA Hexapod2022年12月27日