ANPx341RES 纳米级精度陶瓷电机水平运动台 closed loop 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页 20mm行程 2kg负载 4mK工作温度 ANPx341RES 主要参数 尺寸 面积及高度44x45;11.5 mm 最大安装空间44x53.3;11.5 mm 重量83g 定位精度 编码类型电阻式传感器 传感绝对精度大约 200 nm 重复性大约 1 .. 2 µm 控制器 闭环控制器ANC350/RES 其它详细信息见型号开环ANPx341 尺寸图 Related PostsFSM-20S2022年5月29日FSM-852022年5月29日FSM-202022年5月29日FSM-20S2022年5月29日半导体应用semiconductor-激光干涉仪2022年2月10日SOUTH CHINA LASER EXIHIBITION2021年10月8日
