MAUKA超小型六轴并联定位台
超小直径高精度设计
主要参数
| 运动和定位 | |
| 行程范围 Tx, Ty (mm) | ±5 |
| 行程范围 Tz (mm) | ±10 |
| 行程范围 Rx, Ry (deg) | ±8 |
| 行程范围 Rz (deg) | ±8 |
| 分辨率 Tx, Ty, Tz (μm) | 0.5 |
| 分辨率 Rx, Ry, Rz (μrad) | 5 |
| 重复性 Tx, Ty, Tz (μm) | ±0.5 |
| 重复精度 Rx ， Ry ， Rz (μrad) | ±5 |
| 速度 Tx, Ty (mm/s) | 1.6 |
| 速度 Tz (mm/s) | 1 |
| 速度 (deg/s) | 2 |
| 机械性能 | |
| 刚度 X, Y (N/μm) | 1.2 |
| 刚度 Z (N/μm) | 8 |
| 有效载重量 (kg) ( 垂直方向 / 水平方向 ) | 5 / 2.5 |
| 电机类型 | 直流电机，减速机 |
| 编码器类型 | 绝对线性编码器 |
| 其他项 | |
| 工作温度范围 ( ℃ ) | 0 ~ + 50 |
| 材料 | 铝，钢，不锈钢 |
| 移动平台尺寸 (mm) | Ø90 |
| 移动平台中心孔径 (mm) | Ø38 |
| 固定平台尺寸 (mm) | Ø100 |
| 固定平台中央孔径 (mm) | Ø30 |
| 中间位置高度 (mm) | 198 |
| 占地面积 (mm) | Ø107 |
| 质量（ kg ） | 3 |
| 电缆长度（ m ） | 3 |
| 选项 | 有效载重量 (kg) 洁净室兼容性 真空兼容性 定制平台设计 户外使用 可扩展的大小 |
| 控制 | |
| 控制器类型 | ALPHA + |
| 接口 | Ethernet |
| 输出功率 | 110-240 VAC / 50-60 Hz |
尺寸图
