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MAUKA超小型六轴并联定位台

超小直径高精度设计

  • 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页
  • 直径仅107mm
  • 负载达5kg
  • 任意向负载达2.5kg
  • 断电自锁
  • 绝对式直线光栅尺
data文件下载

主要参数

运动和定位
行程范围 Tx, Ty (mm)±5
行程范围 Tz (mm)±10
行程范围 Rx, Ry (deg)±8
行程范围 Rz (deg)±8
分辨率 Tx, Ty, Tz (μm) 0.5
分辨率 Rx, Ry, Rz (μrad)5
重复精度 Tx, Ty, Tz (μm)±1
重复精度 Rx , Ry , Rz (μrad)±10
速度 Tx, Ty (mm/s)1.6
速度 Tz (mm/s) 1
速度 (deg/s)2
机械性能
刚度 X, Y (N/μm) 0.7
刚度 Z (N/μm) 4
有效载重量 (kg)
( 垂直方向 / 水平方向 )
5 / 2.5
电机类型 直流电机,减速机
编码器类型 绝对线性编码器
其他项
工作温度范围 ( ℃ ) 0 ~ + 50
材料 铝,钢,不锈钢
移动平台尺寸 (mm) Ø90
移动平台中心孔径 (mm) Ø38
固定平台尺寸 (mm) Ø100
固定平台中央孔径 (mm) Ø30
中间位置高度 (mm)198
占地面积 (mm)Ø107
质量( kg )3
电缆长度( m )3
选项洁净室兼容性
真空兼容性
定制平台设计
手动控制组件
户外使用
可扩展的大小
控制
控制器类型ALPHA +
接口Ethernet
输出功率110-240 VAC / 50-60 Hz

尺寸图

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