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ANSz100

纳米级精度陶瓷电机水平运动台

open loop

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  •  2µm高稳定性
  • 100g负载
  • 4mK工作温度
ANSz100std ANSz100lr ANSz100hs

主要参数

尺寸 
面积及高度24 x 24; 10 mm
重量19 g
材料(无磁)
台体钛
促动器压电陶瓷
驱动轴陶瓷
线缆绝缘双绞线,铜线
可选项
兼容环境/RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV
材料/CuBe
控制器
开环控制器ANC300: ANM200, ANM300
闭环控制器ANC350/FPS
微调模式  
微调范围标准范围24 µm @ 300 K
15 µm @ 4 K
最大范围50 µm @ 300 K
30 µm @ 4 K
高稳定度4.3 µm @ 300 K
2 µm @ 4 K
微调绝对精度亚纳米
运动绝对精度
重复性典型值0.1%
爬行典型值每十年0.5-0.8%
线性典型值5-10%
负载@常温环境(安装方向:水平轴向)
最大垂向负载1N(100g)
最大轴上扭矩20Ncm

尺寸图

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