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ANSx150

纳米级精度陶瓷电机水平运动台

open loop

  • 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页
  • 125 µm行程
  • 100g负载
  • 4mK工作温度
ANSx150

主要参数

尺寸 
面积及高度24 x 24; 9 mm
重量18 g
材料(无磁)
台体钛
促动器压电陶瓷
线缆绝缘双绞线,铜线
可选项
兼容环境/RT, /HV, /UHV, /LT, /LT/HV, /LT/UHV
材料/CuBe
控制器
模拟电压放大器ANC250
微调模式 
微调范围80 µm @ 300 K
125 µm @ 4 K
微调绝对精度亚纳米
运动精度(开环)
扫描重复性典型值0.1%
爬行典型值每十年0.5-0.8%
线性典型值5-10%
负载@常温环境(安装方向:水平轴向)
最大垂向负载1N(100g)
最大轴上扭矩10Ncm

尺寸图

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