IDS3010激光干涉位移传感系统

  • 超高紧凑体积(50×55×195mm),易于工业集成。传感器可直接集成到机床,3坐标测量系统及半导体设备等设备上。
  • 支持工业结构,提供实时数字接口(HSSL,AquadB)以及模拟(sin/cos)位置数据。台提供如CANopen,Profibus,Profibus RT,EtherCAT以及Biss-C等。
  • 支持三轴测量,最大测距达5m。
  • 内置用于装调的可见光激光器,安装简易便捷。
  • 采用法布里-珀罗干涉仪原理。
  • 可工作在10MGy强辐射环境下。
  • 目标值测量带宽达10MHz,分辨率达1pm。相对于传感器位移速度可达2m/s。
  • 配有ECU环境补偿单元,在极端环境下,长距离测量精度可达±1ppm。

主要参数

传感器
轴数3轴
工作距0~5000mm(传感器探头决定测量距离)
传感器分辨率1pm
传感器重复精度2nm
目标移动最大速度2m/s
测量带宽10MHz
信号稳定性0.110nm(2σ)
工作模式
测量模式位移
远程操作集成到网络服务器
输出信号:电子sin/cos,HSSL,AquadB,场总线系统(可选)
输出信号:位置测量激光(IR)
输出信号:装调激光(VIS)
传感器校准通过集成网络服务器或者DLLS
传感器初始化通过集成网络服务器或者DLLS
控制器硬件
机箱50×55×195mm 3
重量730g
输出功率12VDC
功率损耗4.5W
测量激光
激光源DFB激光器(一级)
激光功率400μW
激光波长1530nm
光稳定性50ppb

应用案例

application2-220x350
  • 实时平台导向精度分析
  • 机床连续工作实时振动测量
  • 工具实时工作振动分析
  • 非接触式探针轴承误差测量
  • 高速及超高精度精密运动轨迹追踪

干涉仪配件