IDS3010激光干涉位移传感系统
- 超高紧凑体积（50×55×195mm），易于工业集成。传感器可直接集成到机床，3坐标测量系统及半导体设备等设备上。
- 支持工业结构，提供实时数字接口（HSSL，AquadB）以及模拟（sin/cos）位置数据。台提供如CANopen，Profibus，Profibus RT，EtherCAT以及Biss-C等。
- 支持三轴测量，最大测距达5m。
- 内置用于装调的可见光激光器，安装简易便捷。
- 采用法布里-珀罗干涉仪原理。
- 可工作在10MGy强辐射环境下。
- 目标值测量带宽达10MHz，分辨率达1pm。相对于传感器位移速度可达2m/s。
- 配有ECU环境补偿单元，在极端环境下，长距离测量精度可达±1ppm。
主要参数
| 传感器 | |
| 轴数 | 3轴 |
| 工作距 | 0~5000mm(传感器探头决定测量距离) |
| 传感器分辨率 | 1pm |
| 传感器重复精度 | 2nm |
| 目标移动最大速度 | 2m/s |
| 测量带宽 | 10MHz |
| 信号稳定性 | 0.110nm（2σ） |
| 工作模式 | |
| 测量模式 | 位移 |
| 远程操作 | 集成到网络服务器 |
| 输出信号：电子 | sin/cos，HSSL，AquadB，场总线系统（可选） |
| 输出信号：位置测量 | 激光（IR) |
| 输出信号：装调 | 激光（VIS) |
| 传感器校准 | 通过集成网络服务器或者DLLS |
| 传感器初始化 | 通过集成网络服务器或者DLLS |
| 控制器硬件 | |
| 机箱 | 50×55×195mm 3 |
| 重量 | 730g |
| 输出功率 | 12VDC |
| 功率损耗 | 4.5W |
| 测量激光 | |
| 激光源 | DFB激光器（一级） |
| 激光功率 | 400μW |
| 激光波长 | 1530nm |
| 光稳定性 | 50ppb |
应用案例
- 实时平台导向精度分析
- 机床连续工作实时振动测量
- 工具实时工作振动分析
- 非接触式探针轴承误差测量
- 高速及超高精度精密运动轨迹追踪
皮米精度激光干涉仪/激光位移传感器应用
