介绍
旋转物体的运动误差是精密机械工程中最热门的一项研究。对于高速丝杆，相对于理想旋转，即使只有亚纳米的偏差，也会引起不良的振动和运动误差。目前从纳米X射线断层扫描研究到机械工程，主要方向为监控运动误差达纳米级。一直以来，最主要的目标：如何最小的控制运动误差？IDS3010干涉仪插入式测量方案能够较好的满足上述需求。
在任何机械旋转部件以及高精度采样应用中，面临的主要问题都是一样的：轴的运动偏差-见图1-是否定义完善并且完全被控制？
加工应用中，控制驱动轴同心度的典型应用：轴的偏心度直接导致运动不平衡情况。随着质量或者是转速的增减，不仅会影响机械件的精度，而且仪器的不稳定也会导致磨损和断裂出现。纳米X射线断层分析中也有同样的情况：在同步辐射中，一个典型的高精度晶体分析需要对于晶体旋转中心有更深的认识。任何误差或者漂移都会导致数据分析明显失真.
为了解决这个问题，先要了解问题的关键。通常情况下，对于一个线性位移传感器，行程较大，亚纳米精度，首选干涉仪方法。但是，这种方法一般要求被测目标为平面，当测量旋转运动时，待测面为曲面。因此，到目前为止，运动误差特性测量设备并没有采用干涉仪方法，主要元件为铟钢传感器——如用于纳米X射线断层扫描的电容传感器或者用于机械工程的接触式CMM。这个新的设计，扩大了传统线性位移传感器领域，实现了弧面测量的功能。
