基于光学法珀腔传感器IDS3010干涉仪可以测量目标相对位移,测量精度达到亚纳米分辨率,实时位置输出带宽达10MHz。在工业,科研以及研发等多种应用中需要高速以及长行程精密测量。如下面所示,IDS3010可以测量距离高达3m,并且速度达2m/s。
在这些测试中,IDS3010干涉仪采用的是M12探测头,并且在被测目标安装了反射器。图1中为整体设备,包括探测头和反射器。采用商用线性电机平台,可实现目标位置多次重复测量。另外,通过采用反射器取代平面镜,安装过程更为简易快捷:反射器相对于探测方向角度4度内都可以测出信号。反射器内部采用了3个正交式反射镜组成的几何结构。信号的高稳定性保证了IDS3010可以在全行程任意位置下进行标定,整套设备的使用方法非常友好,简易。
第一次测试,目标距离传感器头1m。包含振动目标的0.9m振动幅度以及达1.0m/s速度。图2(a)显示的是在振动过程中,目标位置测量和速度。
图2(b)描述了在高速运动中的测量,距离为0.5m,速度为2.0m/s。从红色曲线中可见,平台最大加速度是一个限制:在到达位置B之前,需要10毫秒才能达到2m/s速度,同时也需要10ms减速。在图2(b)中,当运动到B点位置时,IDS3010也可以记录线性位移平台的位置误差,从图中可以看到超调值为5微米。
这个应用证明了IDS3010干涉仪测量位移3m,测量速度达2.0m/s时,可以达到亚纳米的重复精度。如果需要更多的资料,请联系我们!