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XY-AL-A-200

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特征:

  • 无铁心直线电机
  • 交叉滚珠导轨
  • 采用超精密导向实现精密定位
  • 基本无镶齿效应
  • 侧向螺纹孔阵列,用于预负载安装
  • 可XY正交安装,实现组合系统功能
  • 微增量测量系统

可选项:

  • 高抗扭强度铝制件(用于实现高精度要求的氧化铝或者大理石部件)
  • 采用大理石部件结合绝对测量系统方式
  • 采用采用大理石部件结合铟钢或者微晶玻璃测量系统方式
  • 控制系统可选

主要参数

XY-AL-A200300
行程(mm)200300
最大速度(m/s)0.20.2
最大加速度(m/s2)53.5
最大负载(kg)55
自重(kg)4063
电机参数X-/Y-Axis
峰值推力(N)113.5/189.2
持续推力(N)28.4/47.3
峰值电流(A)4.4/4.4
持续电流(A)1.1/1.1
温度传感器Yes
霍尔传感器Yes
最大可允许温度(℃)110
测量系统
范围(μm)20
输出信号(Vpp)1
精度
导向精度(水平、垂直μm)2530
重复精度(μm)0.2
摆角误差(pich)(μrad)500600
摆角误差(roll)(μrad)150200
摆角误差(yaw) (μrad)500600

尺寸图

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