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AS-XY-300

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特征:

  • 采用大理石基底结构
  • 所有零部件根据系统特性做单独优化,实现超高系统精度
  • XY轴采用直线电机驱动,Z轴采用伺服电机
  • Z轴行程可选
  • 横梁采用特殊高刚度设计
  • 微增量测量系统

可选项:

  • 绝对测量系统
  • 采用铟钢或者微晶玻璃测量系统方式
  • 采用空气轴承实现高精度需求
  • 不锈钢框架可选\控制器可选
  • X轴运动可集成至XY平台或者横梁上
  • 可增加附加Z轴

主要参数

AS-XY-300X-AxisY-AxisZ-Axis
行程(mm)200300250
最大速度(m/s)10.5
最大加速度(m/s2)10
最大负载(kg)2015
自重(kg)550
电机参数
峰值推力(N)1080—
持续推力(N)415—
峰值电流(A)13.77.9
持续电流(A)13.7—
峰值扭矩4.31.65
额定转矩(NM)—0.39
额定电压(V)—230
额定功率(Kw)—0.32
温度传感器Yes
霍尔传感器No
最大可允许温度(℃)100
测量系统
范围(μm)2020
分辨率—12 Bit MT
输出信号(Vpp)11Biss-B
精度
导向精度(水平、垂直μm)235
重复精度(μm)0.2
摆角误差(pich)(μrad)252540
摆角误差(roll)(μrad)252525
摆角误差(yaw) (μrad)252540

尺寸图

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