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步进电机升降平台PZS-90

Stepper Motor

  • 激光位移传感器 平移台 三轴龙门 纳米定位台 六轴定位台 主页
  • 35mm行程
  • 100nm闭环分辨率
  • 负载达15kg
  • 集成了机械限位
  • 兼容真空版本

主要参数

PZS-90
行程35mm
直线度/平面度±3μm
摇摆误差Pitch±200μrad
摇摆误差Yaw±200μrad
自重1.145g
电机类型2-Phase Stepper Motor
速度(mm/s)10
PZS-90
编码器类型None(open loop)Analog(1Vpp)Digitsl(RS-422)Digital Low Cost (RS-422)
分辨率典型值0.5μm0.1μm0.1μm0.5μm
重复精度(双向)±2μm±0.1μm±0.1μm±1μm
重复精度(单向)0.5μm0.1μm0.1μm1μm
精度±15±1±1±3
材料aluminum body,steel bearing

尺寸图

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沪ICP备16016512号

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