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二维平移台PPX-50

Stepper Motor

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  • 1nm分辨率
  • 负载达0.5kg
  • 兼容真空版本

主要参数

PPX-50
行程30mm*30mm
直线度/平面度±3.5μm
摇摆误差Pitch±200μrad
摇摆误差Yaw±100μrad
自重120g
电机类型Piezo Motor
速度(mm/s)2(MMC-100),10(MMC-110)
PPX-50
编码器类型None(open loop)Analog(1Vpp)
分辨率典型值1nm10nm
重复精度(双向)n/a±50nm
重复精度(单向)n/a50nm
精度-±1
材料aluminum body,steel bearing

尺寸图

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沪公网安备 31011502008739号;


沪ICP备16016512号

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