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陶瓷电机平移台PPS-28PM

Piezo Motor

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陶瓷电机平移台PPS-28PM

Piezo Motor

  • 102mm行程
  • 1nm闭环分辨率
  • 负载达5kg
  • 交叉滚子轴承
  • 体积紧凑,高度仅15mm

主要参数

PPS-28PM
行程(mm)265176102
直线度/平面度(μm)±1.5±2.5±3±3.5
摇摆误差Pitch(μrad)±50±70±80±100
摇摆误差Yaw(μrad)±60±125±90±100
自重(g)63125165206
电机类型陶瓷电机
速度(mm/s)2(MMC-100), 10(MMC-110)
PPS-28PM
编码器类型(Open Loop)Analog (1 Vpp)Digital(RS-422)
分辨率典型值(nm)1101
重复精度(双向)(nm)-±50±50
重复精度(单向)(nm)-5050
精度(μm)-±1±1
材料aluminum body,steel bearing(other materials I.e. stainless steel, titanium, etc. available upon request)

尺寸图

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