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陶瓷电机升降台ES-50PM

Piezo Motor

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  • 10mm行程
  • 1nm闭环分辨率
  • 负载达1kg
  • 小体积,高度15mm
  • 兼容真空版本

主要参数

ES-50PM
行程(mm)10
直线度/平面度(μm)±4
摇摆误差Pitch(μrad)±300
摇摆误差Yaw(μrad)±300
自重(g)110
电机类型Piezo Motor
速度(mm/s)5
ES-50PM
编码器类型None(open loop)Analog (1 Vpp)Digital(RS-422)
分辨率典型值(nm)1101
重复精度(双向)(nm)N/A±50±50
重复精度(单向)(nm)N/A5050
精度(μm)‐±1±1
材料aluminum body,steel bearing

尺寸图

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沪公网安备 31011502008739号;


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